[发明专利]一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法无效
申请号: | 201110409028.7 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN102519608A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 孟庆华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02;G01B9/02;G02B21/00 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显微 物镜 装配 衍射 干涉仪 中的 方法 | ||
1.一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法,该方法包括如下步骤:
步骤一:把显微物镜(2)固定在主镜筒(1)上,调整显微物镜(2)光轴和高精度车床转轴重合,车削主镜筒(1)内圆;
步骤二:使弯月透镜筒(5)外圆的机械轴和弯月透镜(3)的光轴同轴;
步骤三:用光学平板(4)代替小孔板,使光学平板座(6)外圆和光学平板(4)光轴平行;
步骤四:把弯月透镜(3)和光学平板(4)装入主镜筒(1),压紧后使显微物镜(2)、弯月透镜(3)和光学平板(4)光轴重合,装配完成;
步骤五:检查所改造显微物镜(2)的点扩散函数,当光学指标达到要求则卸下光学平板(4),加工掉光学平板座(6)凸起的部分;
步骤六:小孔板安装在三维精密调整台上,通过调整使改造显微物镜(2)的光轴通过小孔板上的小孔。
2.如权利要求1所述的一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法,其特征在于,显微物镜(2)和弯月透镜(3)之间具有修磨隔圈(7),保证显微物镜(2)和弯月透镜(3)之间的光学间隔。
3.如权利要求1所述的一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法,其特征在于,所述小孔板中心有小于1微米的小孔,小孔周围镀铬反射膜。
4.如权利要求1所述的一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法,其特征在于,所述光学平板(4)外形尺寸和小孔板相同。
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