[发明专利]一种空心硅芯的拉制模板

权利要求书

1.一种空心硅芯的拉制模板，包括模板(4)、环形槽(1)、晶液通路(3)和中部块体(2)，其特征是：在模板(4)上设有环形槽(1)，环形槽(1)为圆环形或多角形，所述环形槽(1)的中间为中部块体(2)，在环形槽(1)的底部设有贯通至模板(4)底部的晶液通路(3)。

2.根据权利要求1所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在模板(4)上设置的环形槽(1)为至少一个且所述环形槽(1)底部均设有贯通至模板(4)底部的晶液通路(3)。

3.根据权利要求1所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：所述晶液通路(3)为环形槽(1)贯通至模板(4)底部面且对应环形槽(1)环形分布的孔。

4.根据权利要求1所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在环形分布孔的底部即模板(4)底部面上设有下部环形槽(10)。

5.根据权利要求1～4任一权利要求所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在模板(4)上部面设置的环形槽(1)周围设有环形凸台(6)。

6.根据权利要求1～4任一权利要求所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在模板(4)上部面设置的环形槽(1)周围间隔设有环形凹陷(7)。

7.根据权利要求1所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在模板(4)上设置的环形槽(1)另一替换结构，在模板(4)上设有通孔，通孔中部设置独立的中部块体(2)，中部块体(2)与模板(4)的通孔壁之间的环形间隙(11)形成晶液通路(3)，所述中部块体(2)与模板(4)的通孔壁之间的下部通过多个连接块(8)连接，连接块(8)与连接块(8)之间形成晶液的加宽通路(9)。

8.根据权利要求1所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：在模板(4)上设置的环形槽(1)第三替换结构，在模板(4)上设有通孔，通孔中部设置独立的中部块体(2)，中部块体(2)与模板(4)的通孔壁之间的环形间隙(11)形成晶液通路(3)，所述中部块体(2)与模板(4)的通孔壁之间的下端端面通过多个连杆(12)连接。

9.根据权利要求1～8任一权利要求所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：所述模板(4)的外缘面(5)为多角形或圆形。

10.根据权利要求1～8任一权利要求所述的空心硅芯的拉制模板，其特征是：所述模板(4)、中部块体(2)、连接块(8)和连杆(12)的材质为石墨、钨或钼的中任一。