[发明专利]表面处理装置

权利要求书

1.一种表面处理机，其一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理，其特征在于，

包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，

阳极支撑机构包括保管阳极的阳极保管槽。

2.一种表面处理机，其一边使收容了工件的处理容器旋转一边向处理容器内供给表面处理液，对工件实施表面处理，其特征在于，

包括将阳极以可用于表面处理的形态予以支撑的阳极支撑机构，

阳极支撑机构包括：

支撑阳极的阳极支撑部件；

支撑阳极承接盘的承接盘支撑部件；

通过阳极支撑部件使阳极上下移动的升降机构；

通过阳极支撑部件使阳极水平移动的阳极移动机构；

通过承接盘支撑部件使阳极承接盘水平移动的承接盘移动机构；以及

连接阳极支撑部件和承接盘支撑部件的连接机构，

当阳极通过阳极移动机构从阳极保管槽的上方或从处理容器的上方开始移动并且阳极承接盘通过承接盘移动机构位于阳极下方时，连接机构将两个支撑部件连接。

3.如权利要求2所述的表面处理机，其特征在于，阳极支撑部件具有：将阳极保持在前端部的水平臂、从水平臂的基端部上下延伸的轴体，

承接盘支撑部件具有：在前端部支撑阳极承接盘的水平臂、从水平臂的基端部以围住阳极支撑部件的所述轴体的形态朝上方延伸的筒体，

升降机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体上下移动，

阳极移动机构设置成使阳极支撑部件的所述轴体绕轴转动，

承接盘移动机构设置成使承接盘支撑部件的所述筒体绕轴转动，

连接机构通过固定在承接盘支撑部件的所述筒体上的把持机构对阳极支撑部件的所述轴体进行把持来连接两个支撑部件。