[发明专利]基板输送系统

说明书

本发明专利申请是申请号为200780100713.3、申请日为2007年9月19日、发明名称为“基板输送系统”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及在收纳玻璃基板、液晶基板、PDP基板等的基板的收纳盒和处理所述基板的处理装置之间输送基板的输送系统。

背景技术

在薄型显示器等的制造设备中，玻璃基板等的基板收纳于收纳盒内。另外，在基板的处理时基板向处理装置输送，完成处理后再由收纳盒收纳。在这样的制造设备中，在收纳盒和处理装置之间必须要有输送基板的输送系统。基板的输送系统要求具有对应于处理装置的基板处理能力的输送能力。例如，在处理装置的基板处理能力超过输送系统的输送能力时，在处理装置中产生基板输送等待的时间，制造效率恶化。因此，输送系统的基板输送能力超过处理装置的基板处理能力是理想的。

在日本特开2005-60110号公报中，公开了从多个收纳盒有选择地把基板输送到处理装置的系统。在该系统中，基板的输送能力有赖于收纳盒的数目。因此，例如在一个收纳盒和处理装置之间输送基板时，存在基板的输送能力比处理装置的处理能力差的情况。

在日本特开平9-132309号公报中，公开了同时输送多张基板、在输送过程处理多张基板的系统。在该系统中，处理装置必须同时交接多张基板。但是，在薄型显示器等的制造设备中，多采用一张一张地进行基板交接的处理装置。该系统难以适用于采用了一张一张地进行基板交接的处理装置的制造设备。

发明内容

本发明的目的是提供与一张一张地交接基板的处理装置对应同时提高了基板的输送能力的基板输送系统。

根据本发明，提供一种基板输送系统，其在收纳基板的收纳盒和所述处理基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具有：配置在所述收纳盒侧、具有在与所述基板的输送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张所述基板的第一传送机，在所述处理装置侧与所述第一传送机连续配置、具有可在与所述输送方向正交的方向排列放置所述多张所述基板的宽度、在所述输送方向可单独地输送所述多张基板的第二传送机，具有放置所述第二传送机上的所述基板的放置部、在所述第二传送机上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置部与所述第二传送机相对升降的升降单元。

在本发明的基板输送系统中，通过设置所述第一传送机，在基板的输送途中可并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置所述第二传送机、所述移动单元及所述升降单元，能够相对于所述处理装置一张一张地交接基板。因此，可对应于一张一张地进行基板交接的处理装置。

另外，根据本发明，提供一种基板输送系统，其在收纳基板的第一及第二收纳盒和在与所述第一及第二收纳盒的配置方向正交的方向从所述第一及第二收纳盒离开地配置并处理所述基板的处理装置之间输送基板，其特征在于，具有：配置于所述第一收纳盒侧、具有在与所述基板的输送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张所述基板的第一同时输送传送机，配置在所述第二收纳盒侧、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置多张所述基板的宽度、在所述输送方向可同时输送所述多张所述基板的第二同时输送传送机，在所述处理装置侧与所述第一同时输送传送机连续配置、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置所述多张所述基板的宽度、可把所述多张基板单独地向所述输送方向输送的第一单独输送传送机，在所述处理装置侧与所述第二同时输送传送机连续配置、具有在与所述输送方向正交的方向可排列放置所述多张所述基板的宽度、可把所述多张基板单独地向所述输送方向输送的第二单独输送传送机，具有放置所述第一及第二单独输送传送机上的所述基板的放置部、跨越所述第一及第二单独输送传送机、在与所述输送方向正交的方向移动所述基板的移动单元，使所述放置部与所述第一及第二单独输送传送机相对升降的升降单元。

在本发明的基板输送系统中，通过设置所述第一及第二同时输送传送机，在基板的输送途中可并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置所述第一及第二单独输送传送机、所述移动单元及所述升降单元，能够相对于所述处理装置一张一张地交接基板。因此，可对应于一张一张地进行基板交接的处理装置。进而，通过所述移动单元跨在所述第一及第二单独输送传送机移动所述基板，在所述处理装置和所述第一及第二收纳盒之间可分别输送基板，能够提高基板的输送能力。