[发明专利]气体浓度调节装置和气体浓度调节方法

权利要求书

1.一种气体浓度调节装置，通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，其特征在于，所述气体浓度调节装置包括：

第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；

第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；

输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；

排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部；以及

控制部，根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。

2.根据权利要求1所述的气体浓度调节装置，其特征在于，所述第一气体是稀释气体，所述第二气体是标准气体。

3.根据权利要求1所述的气体浓度调节装置，其特征在于，

所述第二气体管线具有：多个分支管线，分别设置有所述第二气体流量调节机构；以及管线切换机构，选择所述多个分支管线中所述第二气体流动的分支管线，

设置在所述多个分支管线上的所述第二气体流量调节机构的流量控制范围相互不同，

所述排气管线与所述多个分支管线中设置有低流量范围的所述第二气体流量调节机构的分支管线连接。

4.根据权利要求3所述的气体浓度调节装置，其特征在于，所述控制部在选择了所述多个分支管线中设置有低流量范围的所述第二气体流量调节机构的分支管线的情况下，使设置在所述排气管线上的所述开关阀打开。

5.一种气体浓度调节方法，其特征在于，所述气体浓度调节方法用于气体浓度调节装置，该气体浓度调节装置通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，所述气体浓度调节装置包括：第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；以及排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部，

所述气体浓度调节方法把计算机作为控制部，该控制部根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。

6.一种气体浓度调节方法，其特征在于，所述气体浓度调节方法使用气体浓度调节装置，该气体浓度调节装置通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，所述气体浓度调节装置包括：第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；以及排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部，

所述气体浓度调节方法使所述气体浓度调节装置根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。