[发明专利]一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法

权利要求书

1.一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，利用振镜后聚焦的光路聚焦系统，使用红外纳秒高频率的脉冲激光器，对GPS触摸屏上导电膜层线路进行激光刻蚀，其特征在于，具体步骤为：

A)将GPS触摸屏上导电层上灰尘擦拭干净，并均匀铺设在激光聚焦处位置，吸附在移动平台上，并做好固定；

B)将高频率的红外脉冲激光器搭建在设备上，并进行固定和稳定出光，激光出光的光束搭配一个同轴的红灯指示装置，经过外带的同轴扩束镜进行准直扩束，进入振镜单元，这个振镜具有两个XY方向的反射镜片，反射镜片经两个精密地电机带动，实现高速扫描，然后进入振镜的后聚焦装置，在焦点位置处，实现光斑的精密聚焦，此焦点处能量可以达到去除材料的能量阈值；

C)将GPS触摸屏所设计电容屏方案的线路导入软件中，振镜控制卡跟据图形内容进行识别转化为光电数字信号转换，使得振镜的XY两个轴向分别按照图形单元进行一定角度的旋转，在振镜后聚焦场镜下完成所要刻蚀的图形；

D)激光按照设计图形进行刻蚀时，要同时打开等离子吹气、吸气和积尘装置系统，确保刻蚀产生的粉尘全部吸入集尘系统中，同时等离子风对刻蚀中产生的导电离子也有一定极化作用，使得颗粒能快速聚集在集尘装置中。

e)可以对多种材料进行刻蚀。

2.根据权利要求1所述的一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，其特征在于，移动平台的运动方式采用4轴运动方式，具体包含X方向、Y方向、Z方向、旋转轴方向，其中XYZ三个轴向使用光栅尺监测和反馈位置信息，可以达到高精度的定位操作运行。

3.根据权利要求1所述的一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，其特征在于，所述刻蚀材料为ITO材料、银浆、铜、钼铝钼等导电材料，刻蚀基底为玻璃基底或者PET基底。

4.根据权利要求1所述的一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，其特征在于，所描述的刻蚀方法是用于触摸屏产品中导电薄膜材料激光刻蚀方法。