[发明专利]石英砂自动分料的控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及石英坩埚的制备技术领域，尤其是涉及一种石英砂自动分料的控制系统。

背景技术

石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。其主要的工艺流程为：尤尼明高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干→石英坩埚三次检验→真空包装→成品入库。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。但是传统的人工手动加料，往往对工人的要求很高，必须是熟练工，否则会造成加料不均匀，生产出的坩埚不符合质量要求，而且人工加料还会造成生产效率低下，制造的坩埚重复性差，以及对人的依赖性高等缺点。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种石英砂自动分料的控制系统，其结构简单，设计合理，实现方便，实现成本低，可靠性高，控制精度高，智能化程度高，对人的依赖性低，生产效率高，能够生产处质量较高的石英砂锅，实用性强，推广应用价值高。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种石英砂自动分料的控制系统，其特征在于：包括用于带动锥形侧壁自动分料系统中放置有石英坩埚模具的旋转台旋转运动的第一电机、用于带动锥形侧壁自动分料系统中分料槽下模具侧壁进行分料的第二电机、用于带动球形底部自动分料系统中石英坩埚模高速旋转的第三电机、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处的第四电机、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽做X方向运动并进行分料的第五电机和用于带动球形底部自动分料系统中输送螺旋运动的第六电机，与第一电机、第二电机、第三电机、第四电机、第五电机和第六电机相接并用于控制各电机运转的电机运动控制卡，以及与电机运动控制卡相接的工业控制计算机。

上述的石英砂自动分料的控制系统，其特征在于：所述第二电机、第五电机和第六电机均为速度可调电机。

上述的石英砂自动分料的控制系统，其特征在于：所述工业控制计算机配置有工业液晶显示器和PCI插槽。

上述的石英砂自动分料的控制系统，其特征在于：所述电机运动控制卡通过PCI插槽与工业控制计算机相接。

本发明与现有技术相比具有以下优点：

1、本发明采用模块化、集成化的设计，结构简单，设计合理，实现方便，实现成本低。

2、本发明中的电机运动控制卡通过PCI插槽与工业控制计算机相接，无需接线，连接方便，数据传输速度快、可靠性高，有助于提高控制精度。

3、本发明中的工业控制计算机配置有工业液晶显示器，能够用于对石英砂自动分料的工作状态进行实时显示，方便工作人员的观察。

4、本发明的智能化程度高，对人的依赖性低，生产效率高，制造的坩埚重复性好。

5、本发明能够生产处质量较高的石英砂锅，实用性强，推广应用价值高。

综上所述，本发明结构简单，设计合理，实现方便，实现成本低，可靠性高，控制精度高，智能化程度高，对人的依赖性低，生产效率高，能够生产处质量较高的石英砂锅，实用性强，推广应用价值高。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本发明的电路原理框图。

附图标记说明：

1-第一电机；      2-第二电机；      3-第三电机；

4-第四电机；      5-第五电机；      6-第六电机；

7-电机运动控制卡；8-工业控制计算机；9-工业液晶显示器。

具体实施方式