[发明专利]电阻测试结构及方法

权利要求书

1. 一种通孔电阻测试结构，其特征在于，包括：

多个子测试结构，所述子测试结构包括同一层的多个通孔和连接这些通孔的互连线，所述多个通孔和互连线构成一条通孔链结构；其中，

各子测试结构中，所有通孔尺寸完全一样；

各子测试结构中，互连线由上下两层互连线组成；

各子测试结构中，互连线由多个连接通孔的短线组成；

各子测试结构中，上下互连线在通孔位置有重叠区域。

2.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，通孔数量不相同。

3.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，对应的互连线宽度相等。

4.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，对应的互连线厚度相等。

5.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，各子测试结构的总长度相等。

6.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，各子测试结构的上层或下层互连线的总长度（不包含上下层互连线重叠部分）相等。

7.如权利要求1所述的通孔电阻测试结构，其特征在于，各子测试结构之间，上下两层互连短线在通孔处重叠区域的面积足够容纳一个通孔。

8.一种采用权利要求1中所述的测试结构来测量互连线通孔电阻的方法，其特征在于，包括：

制作包含各子测试结构的测试芯片；

分别测试各子测试结构中通孔链的电阻；

分析各子测试结构的通孔链电阻值与相应子测试结构通孔个数、互连线电阻的对应关系；

根据所述对应关系，在直角坐标系中描点，画线；

根据所得直线，拟合直线的斜率为单个通孔电阻值。

9.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述对应关系为：

其中，代表所述第i个子测试结构的通孔链电阻测试值；代表所述各子测试结构中互连线部分的电阻值；代表各子测试结构的通孔链中的通孔数。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在坐标中描点画线包括：

以所述各子测试结构中通孔链的测试电阻为纵坐标；

以所述各子测试结构的通孔链中的通孔数为横坐标；

将所得数据用所述方法描点；

将所得点连接为一条直线。