[发明专利]石英坩埚生产过程的温度监控系统

权利要求书

1.一种石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：包括用于实时采集石英坩埚生产过程中温度的非接触式温度测量模块(1)、与非接触式温度测量模块(1)相接并用于对非接触式温度测量模块(1)所采集到得温度数据进行调理的信号调理电路模块(2)、与信号调理电路模块(2)相接且用于对信号调理电路模块(2)所输出的数据进行分析处理的控制器模块(3)和与控制器模块(3)相接且用于实时显示测量温度的显示模块(4)，以及给非接触式温度测量模块(1)、信号调理电路模块(2)、控制器模块(3)和显示模块(4)供电的电源管理模块(5)。

2.按照权利要求1所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：包括通过无线通信系统(6)与控制器模块(3)无线连接并双向无线通信的上位监控计算机(7)。

3.按照权利要求2所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：所述无线通信系统(6)包括与控制器模块(3)相接的第一无线收发模块(6-1)和与上位监控计算机(7)相接的第二无线收发模块(6-2)。

4.按照权利要求1、2或3所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：所述非接触式温度测量模块(1)为光电温度传感器。

5.按照权利要求1、2或3所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：所述信号调理电路模块(2)包括依次相接的滤波电路模块、放大电路模块和A/D转换电路模块。

6.按照权利要求1、2或3所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：所述控制器模块(3)为单片机MSP430F247。

7.按照权利要求1、2或3所述的石英坩埚生产过程的温度监控系统，其特征在于：所述显示模块(4)为LED显示屏。