[发明专利]一种检测排气管道污染物的方法与装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测排气管道污染物的方法与装置，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。

背景技术

在半导体制造工艺中需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体。这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用，产生的废气通过排风系统收集并处理，这些废气如果没有很好的处理好便进行排放，将损害人体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。在离子注入机中排出的废气也有酸性及特殊碱性气体，要及时处理排放。长期排气，离子源排气管道会被污染，污染物过多会污染离子源，所以要及时清理过多的污染物。怎样才能检测管道被污染程度便成了要解决的问题。

本专利详细阐述了如何检测管道中污染物的污染程度。

发明内容

本专利是针对上述要求而提出的一种结构简单、操作方便、可靠性高的检测污染物的方法与装置。

本发明通过以下技术方案来实现：

1.一种检测排气管道污染物的方法，其特征在于通过电导率检测模块(3)实时收集检测漏电流信号，然后由模数转换计算出电导率，经过模拟I/O板(2)送给主控计算机(1)，提示操作人员。其中电导率检测模块(3)持续发出一个检测电压信号，检测电压信号通过圆环电极接到排气管道中(4)中。当排气管道(4)中没有污染物或污染物较少时，电导率检测模块(3)会显示电导率结果为零或是一个极小值；当排气管道(4)中污染物过多时，电导率检测模块(3)检测的结果会超过主控计算机(1)设定的值，当主控计算机收到该检测值会发出报警信号。

2.权利要求1中所述的排气管道(4)，其特征在于管道内有两个圆环电极，上下各一个，圆环电极面积要做够大，要充分接触到排气管道(4)内壁。通过圆环电极的接触面宽的特点，防止局部污染物过多时有时会无法检测到，排除了漏检的可能性，同时要求圆环电极要抗腐蚀性强，防止腐蚀性废气腐蚀电极。

本发明具有如下显著优点：

1.结构简单、操作方便，能够准确实时地检测管道的污染程度。

2.当污染物过多时，电导率检测模块能通过整流模块检测到漏电流。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1检测排气管道污染物的系统结构框图。

具体实施方式

下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。

如图1所示的一种检测排气管道污染物的方法与装置，包括：主控计算机、模拟I/O板、电导率检测模块、排气管道、整流模块。

其中在排气管道两端插入圆环电极，让圆环电极尽可能地接触到管道内表面，在衔接处要密封好，防止废气泄露。

整流模块一端接到排气管道中的圆环电极，另一端接到电导率检测模块。因为检测电压接到其中一个圆环电极，所以当排气管道中污染物过多时，另一圆环电极会接收到部分电流，此时两圆环电极间的污染物充当了导体的作用。此部分电流可以称为漏电流，因为漏电流不稳定，所以需要通过整流模块将此漏电流变为稳定的电流信号，再输入到电导率检测模块中，才能转换为电阻率，最后再将此信号通过模拟I/O板送给主控计算机。当测到的电阻率超过设定值时，主控计算机就会发出报警信号，提示操作人员及时清理排气管道中的污染物。

电导率检测模块主要由中央处理器、数据采集及补偿电路、A/D模数转换电路组成。通过数据采集及补偿电路对被测样本信号即流过整流模块的电流信号进行采集，将所采集的信号送入A/D模数转换器将模拟信号转换为数字信号，为中央处理器进行处理做准备。最后将处理的信号经过显示电路解码后，将电导率的检测的结果送入主控计算机显示出来。

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。