[发明专利]泵装置及其控制方法

权利要求书

1.一种泵装置，其特征在于，包括：

泵本体，该泵本体具有吸入口、排出口、可分别与该吸入口以及该排出口连通的泵室、交互进行向该泵室吸入气体与从该泵室排出气体的可动构件、以及驱动部；该驱动部驱动该可动构件，并包括能根据旋转速度使从该排出口排出的气体的流量发生变化的电机；

温度传感器，该温度传感器安装于该泵本体上，通过测量从该排出口排出的气体的温度或该泵本体的温度来输出与该气体的温度相关的温度信号；以及

控制器，该控制器具有输入对从该排出口排出的该气体的标准流量进行指定的外部信号的输入部、根据该温度信号计算从该排出口排出的该气体的实际流量的计算部、以及输出修正该电机的旋转速度的修正信号以使该实际流量与该标准流量一致的输出部。

2.如权利要求1所述的泵装置，其特征在于，

所述控制器进一步具有存储修正系数的存储部，该修正系数包括预先获取的所述泵本体的温度特性；

所述计算部通过将根据所述温度信号计算出的气体流量乘以该修正系数来计算所述气体的实际流量。

3.如权利要求2所述的泵装置，其特征在于，

所述修正系数为从第一温度至比该第一温度高的第二温度之间的所述温度特性的近似函数，

该近似函数在该第一温度和比该第一温度高并比该第二温度低的第三温度之间生成使所述电机的旋转速度上升的所述修正信号。

4.如权利要求2所述的泵装置，其特征在于，所述温度传感器安装于所述驱动部。

5.如权利要求2所述的泵装置，其特征在于，所述温度传感器安装于所述泵室。

6.如权利要求1所述的泵装置，其特征在于，所述泵本体为隔膜泵。

7.一种泵装置的控制方法，其特征在于，包括：

输出用于以从泵本体的排出口排出标准流量的气体的旋转速度来驱动电机的驱动信号；

利用安装于该泵本体的温度传感器测量从该排出口排出的气体的温度或该泵本体的温度；

根据该温度传感器的输出中所包含的与该气体的温度相关的温度信号，计算从该排出口排出的该气体的实际流量；以及

修正该驱动信号，并将经过修正的驱动信号向该电机输出，以使该实际流量与该标准流量一致。

8.如权利要求7所述的泵装置的控制方法，其特征在于，所述气体实际流量的计算是通过将根据所述温度信号计算出的气体流量乘以包括预先获取的所述泵本体的温度特性的修正系数来计算所述气体的实际流量。

9.如权利要求8所述的泵装置的控制方法，其特征在于，

所述修正系数为从第一温度至比该第一温度高的第二温度之间的所述温度特性的近似函数，

该近似函数在该第一温度和比该第一温度高并比该第二温度低的第三温度之间生成使所述电机的旋转速度上升的修正信号。