[发明专利]一种微电极阵列的侧壁绝缘方法

权利要求书

1.一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于包括以下步骤：

1)将经过清洗的电极阵列与导电装置分别作为阴极板和阳极板，或分别作为阳极板和阴极板，连接到电泳仪器的负极和正极，或连接到正极和负极，构成回路；

2)将接好的电极阵列放入电泳镀膜溶液中；

3)打开电源开始电泳镀膜；

4)镀膜完成后，关闭电源，将电极阵列取出，并用去离子水超声清洗电极阵列，去除悬浮涂料；

5)将洗干净的电极阵列，进行烘干处理；

6)将已经烘干的电极阵列中填充石蜡，然后利用机械方法进行磨削，以去掉电极端面的绝缘薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的电泳液，电泳涂料的质量百分比为：10％-30％。

3.根据权利要求2所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的电泳涂料为聚氨脂改性环氧树脂、改性丙烯酸树脂、改性丙烯酸聚氨脂树脂、丙烯酸改性环氧树脂的一种或两种。

4.根据权利要求1所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的导电装置、阴极电泳镀膜中使用的阳极板或在阳极电泳镀膜中使用的阴极板为不锈钢、碳板、钛件、惰性材料或者经过表面处理导电的非金属材料。

5.据权利要求1-4任一项所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：步骤3)中所述的电泳电压为30-60V；电泳时间为10s-60s；温度为28℃-32℃。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：步骤4)所述的超声清洗的频率为：25KHZ-68KHZ。

7.根据权利要求1-4任一项所述的一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于：步骤5)中所述的烘干温度为120℃-150℃；烘干时间为20min-30min。