[发明专利]一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法。

背景技术

制造执行系统（Manufacturing Execution System，简称MES）是由美国AMR公司(Advanced Manufacturing Research，Inc．)在90年代初提出的，旨在加强MRP计划的执行功能，把MRP计划同车间作业现场控制，通过执行系统联系起来；其中，现场控制包括PLC程控器、数据采集器、条型码、各种计量及检测仪器、机械手等。制造执行系统（MES）系统中还设置了必要的接口，与提供生产现场控制设施的厂商建立合作关系。

但是，现有的制造执行系统（MES）缺乏智能寻找安全站点的功能，这对于工厂在处置大规模事件（比如年度维修）时需要花大量的人力来对每个硅片批（lot）进行人工干预处置，很不便利，很容易出错，也不利于出具详细的执行状态报告。

发明内容

本发明公开了一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中，包括以下步骤：

步骤S1：在一设置有预停止模块的制造执行系统中，根据工艺需求设置每个站点的安全等级；

步骤S2：于制造执行系统的操作模块上设置筛选项，以控制产品批的预停止；

步骤S3：制造执行系统根据所定义的产品批通过筛选项为每个产品批设置对应的预停止站点；

步骤S4：当需要进行预停止时，工艺人员通过操作模块的填写项设置预停止信息，制造执行系统根据操作模块的设置执行进行预停止。

其中，制造执行系统还设置有步骤计算模块。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中安全等级设置可根据工艺类别设置为至少两个级别。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中筛选项包含有产品名、批次代号、等级、工程或产品片、安全等级数。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中筛选项还包含有填写项，以实现安全站点的停止。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法， 包括利用报表对预停止的信息进行追踪与管理。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中报表是对已经执行的产品、产品批信息进行汇总，该信息包括产品、批次、优先等级、现有站点、预停止站点、尚余步数、停止站点的安全等级。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中步骤S4中预停止信息包含有预停止的安全等级、安全站点搜索步骤。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中预停止工艺包括一般预停止、分级预停止。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中一般预停止为通过统一填写项输入的筛选条件，根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止；分级预停止为进行分批操作，每次均通过填写项输入的筛选条件仅为安全等级选项，然后根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止。

上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中预停止工艺还包括高级预停止，即在一般预停止的基础上，增加最近安全站点搜索步骤限制模块，并通过统一填写项输入的筛选条件，根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，通过在制造执行系统中集成一种针对大批量产品批（lot）的自动寻找并设置最佳安全站点的模块，从而解决了现有制造执行系统中在处置大规模事件（比如年度维修）时需要花大量的人力来对每个硅片批（lot）进行人工干预处置、不便利、易出错及不能出具详细的执行状态报告等问题。

附图说明

图1是本发明在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

图1是本发明在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法的流程示意图。

如图1所示，本发明一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，包括以下步骤：