[发明专利]一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置

权利要求书

1.一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，包括石英源瓶(3)，且石英源瓶(3)上设有石英源瓶接口(17)，其特征是，所述恒温装置还包括源盒(2)、基座(1)、控制盒(6)和电源盒(12)，源盒(2)放置在基座(1)上并在源盒(2)顶部加装源盒盖(4)，所述石英源瓶(3)置于源盒(2)内，石英源瓶(3)内设温度传感器(5)，且温度传感器(5)与补偿导线(7)一端相连而补偿导线(7)另一端接至控制盒(6)；所述基座(1)从上到下依次包括传热铝块(11)、帕尔贴组(20)和散热装置(9)。

2.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述源盒(2)内装有检测石英源瓶(3)内扩散源液位的液位传感器(28)。

3.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，源盒(2)侧面设有观察石英源瓶(3)内扩散源液位的液位观察窗(10)。

4.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述源盒盖(4)上设有可令石英源瓶接口(17)穿过的石英源瓶接口孔(18)。

5.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述控制盒内设有温度传感器放大模块(23)、液位传感器模块(24)、控制器(25)和通讯模块(26)，控制器(25)装有散热风扇，补偿导线(7)通过补偿导线孔(15)与温度传感器放大模块(23)连接，液位传感器(28)与液位传感器模块(24)通过屏蔽导线连接。

6.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，电源盒(12)内设有变压器模块(21)和开关基板(22)，变压器模块(21)将市电变为所述恒温装置用电，开关基板(22)由控制器(25)控制给帕尔贴组(20)供电。

7.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述散热装置(9)包括散热风扇和散热片。

8.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述帕尔贴组(20)与传热铝块(11)之间用导热硅胶密封。