[发明专利]一种遮光板的制作方法有效

专利信息
申请号: 201110386632.2 申请日: 2011-11-29
公开(公告)号: CN102520590A 公开(公告)日: 2012-06-27
发明(设计)人: 施明宏;林明文;李蒙;林韦呈 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F7/00
代理公司: 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人: 邢涛;田夏
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 遮光板 制作方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及液晶显示领域,更具体的说,涉及一种遮光板的制作方法。 

背景技术

目前在TFT-LCD业界中,液晶盒(CELL)制程段进行框胶固化时需使用紫外线遮光板(UV glass),利用紫外线遮光板(UV glass)上的遮光图案遮蔽显示区(AA)区配向膜(PI)及液晶区域,使其不受紫外光照射之影响,同时将框胶部位暴露于紫外光照射下以达到固化之目的。紫外线遮光板(UV glass)的制作方法通常有两种,一种是设计紫外线遮光图案(UV mask),利用光罩曝光形成具有特定位置遮光图案的紫外线遮光板(UV glass);另一种方法是利用阵列基板(Array)周边露光机曝掉框胶所在位置的金属膜层,从而在玻璃基板(glass)上形成遮光图案。但是这两种方法分别存在如下缺陷:采用光罩曝光的方式,由于光罩价格昂贵,特别是高世代产线的大光罩,不利于降低产品生产成本;采用周边露光机的方式由于精度不高,制作结果往往与实际要达到的标准存在较大差距。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种低成本、高精度的遮光板的制作方法。 

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的: 

一种遮光板的制作方法,其步骤包括: 

A:在曝光台上设置挡板,通过调整挡板的位置来控制玻璃基板上的露光区域的位置,从而将需透光区域的金属膜层移除,并在需要遮蔽的区域形成遮光图案。 

优选的,所述挡板为曝光机台上自带的遮罩挡板。采用自带的遮罩挡板,无需额外增加投资,成本更低。 

优选的,所述步骤A包括: 

A1:在玻璃基板上形成不透光的金属膜层; 

A2:在曝光台上设置挡板,在所述玻璃基板上形成保留区域图案,并通过曝光处理,移除玻璃基板的其他部分的金属膜层;保留区域的图案用于形成曝光机的对位标识,玻璃编号等图案。 

A3:在玻璃基板形成金属膜层、涂光阻;采用挡板对需露光的胶框区域进行曝光处理,移除该区域的金属膜层。 

优选的,所述步骤A2包括: 

A2.1:先通过曝光机处理掉玻璃基板四周胶框对应区域的金属膜层; 

A2.2:在所述玻璃基板上形成保留区域图案,并通过曝光处理,移除玻璃基板的其他部分的金属膜层。 

优选的,所述步骤A3包括: 

A3.1:在玻璃基板形成金属膜层、涂光阻;采用挡板遮蔽每个液晶盒对应区域,露出除液晶盒对应区域外的其它区域并进行曝光处理; 

A3.2:依序进行显影、蚀刻、光阻剥离,保留遮光图案和紫外线光罩对准标记的金属膜层。 

本发明采用了遮罩挡板,挡板可以独立运动,能单独进行精确控制,因此可以对曝光机的光线进行精确定位,制作出符合标准的的遮光板。而现有技术是在光罩上通过挡板围绕形成遮光区域,然后在光罩上方曝光形成遮光图案,本发明不使用光罩,直接利用挡板形成曝光区域,对遮光部分以外的区域进行直接曝光后移除金属膜层,从而节省了光罩的设计和制作成本;跟周边漏光机相比,曝光机的精度高、覆盖范围广,通过控制挡板,完全可以实现精确曝光,制作出高品质的遮光板。 

附图说明

图1是本发明实施例步骤一示意图; 

图2是本发明实施例步骤二示意图; 

图3是本发明实施例步骤三示意图; 

其中:100、遮光板;110、环路封条;120、保留区域图案;121、紫外线光罩对准标记;130、遮光图案。 

具体实施方式

下面结合附图和较佳的实施例对本发明作进一步说明。 

目前在TFT-LCD业界中,液晶盒(CELL)制程段进行框胶固化时需使用紫外线遮光板100(UV glass),利用紫外线遮光板100(UV glass)上的遮光图案130遮蔽显示区(AA)区配向膜(PI)及液晶区域,使其不受紫外光照射之影响,同时将框胶部位暴露于紫外光照射下以达到固化之目的。本发明公开一种低成本、高精度的遮光板100制作方法,具体步骤如下所述: 

实施方案一:通过调整Canon曝光机遮罩挡板(mask blade)位置,同时搭配自由配置(free layout)曝光完成UV glass制作。 

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