[发明专利]扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法有效
| 申请号： | 201110386089.6 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102519994A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟;郭明升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 旋转 固定器 精度 监控 方法 | ||
1.一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：
步骤一：提供表面上带有角刻度的标准件；
步骤二：将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置；
步骤三：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；
步骤四：将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。
2.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述标准件的表面在360度的圆周方向上均设有角刻度。
3.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，该标准件是晶圆。
4.根据权利要求3所述的监控方法，其特征在于，所述晶圆上的角刻度通过半导体刻蚀工艺形成。
5.根据权利要求3所述的监控方法，其特征在于，所述晶圆的尺寸为12英寸。
6.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述标准件的角刻度的误差小于0.001度。
7.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述该第一角位置对应的角刻度为0度。
8.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述预定角度为90度、180度或270度。
9.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括步骤五：重复所述步骤一至所述步骤四预定次数，得到多个角度误差值。
10.根据权利要求9所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括步骤六：根据所得到的多个角度误差值建立统计趋势图，以确定该可旋转固定器的精度变化趋势。
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