[发明专利]一种一维微平动机构

权利要求书

1.一种一维微平动机构，其特征在于：包括：微位移驱动组件、包含驱动球头(6)及垫块(3)的单向调整组件、包含平行的环形弹性薄片(1)的微平动机构导向和支承组件；其中：

所述的微位移驱动组件，为3只微位移驱动器(7)，且是旋转对称设置；

所述的包含球头(6)及垫块(3)的单向调整组件，采用耐磨材料及单向接触方式，有效避免了微位移驱动器(7)之间的位移干涉现象；通过调节螺杆(13)和锁紧螺母(14)，可调整垫块(3)的高低并锁紧，从而补偿3只微位移驱动器(7)的高度、加工及安装的误差；同时，可通过调整3个垫块(3)的高度，为微位移驱动器(7)施加必要的预紧力；

所述的包含平行的环形弹性薄片(1)的微平动机构导向和支承组件，此组件利用平行的具有旋转对称的U形连接(5)的环形弹性薄片(1)，环形弹性薄片(1)内环与内导向套筒(2)通过螺钉紧固，环形弹性薄片(1)外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动平台(15)作一维单向微位移时不会发生转动；U形连接(5)的数量为3个，确保在环形弹性薄片(1)内外环之间的留有足够空间，可穿过微位移驱动器(7)。

2.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：所述的微位移驱动组件采用基于压电陶瓷或者磁致伸缩材料为驱动核心器件的微位移驱动器(7)。

3.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该机构可应用于精密光学仪器微平动机构中或者透镜的精密机械调整机构中。

4.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该机构可应用于且特别适用于光学干涉仪镜头中。

5.根据权利要求1所述的一维微平动机构，其特征在于：该一维微平动机构具体结构以及组装方式为：将内导向套筒(2)置于外壳(12)内，然后将第一环形弹性薄片(1)的内环采用螺钉紧固件与内导向套筒(2)组合成一个整体；将3只微位移驱动器(7)分别通过沉头螺钉(10)固联于底座(8)上，并将3个球头(6)分别通过螺纹或胶接固联于3只微位移驱动器(7)的输出端；然后将3只微位移驱动器(7)穿过第一环形弹性薄片(1)的环间空隙，并将第一环形弹性薄片(1)的外环采用螺钉紧固件通过底座(8)与外壳(12)紧固；为确保第二环形弹性薄片(1)和第一环形弹性薄片(1)姿态对应，将第二环形弹性薄片(1)通过其环间间隙套在3只微位移驱动器(7)上，然后将第二环形弹性薄片(1)的外环采用螺钉紧固件通过压圈(11)的螺孔与外壳(12)紧固；将3个垫块(3)通过调节螺杆机构(9)联接于微平动平台(4)下侧，确保3个垫块(3)与3个球头(6)相对应，通过微平动平台(4)的内圈螺孔采用螺钉紧固件将第二环形弹性薄片(1)的内环与内导向套筒(2)紧固。