[发明专利]一种自动光学检测仪的光学装置无效
| 申请号: | 201110381312.8 | 申请日: | 2011-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN103134805A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
| 发明(设计)人: | 许婷;陈婵歌 | 申请(专利权)人: | 西安中科麦特电子技术设备有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G02B27/28 |
| 代理公司: | 西安西达专利代理有限责任公司 61202 | 代理人: | 郭秋梅 |
| 地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 自动 光学 检测 装置 | ||
技术领域
本发明涉及光学成像系统,具体说是一种面向缺陷检测的自动光学检测仪的光学装置。
背景技术
随着电子技术的发展,用于电子组装的PCB板线宽、间距、焊盘越来越细小,已到几十微米级,复合层数最高已到60层,传统的人工测试远远不能适应现在工艺技术水平和产品批量的要求,因此检验手段已成为工艺线上必须解决的问题。
AOI自动光学检测系统作为现代制造业的一种PCB质量监测系统设备,已在PCB检测行业广泛应用,利用拍摄采集的图像对缺陷进行检测。但由于使用光源不合适,光学成像系统成像率较低,系统分辨率不够,采集图像质量差,经常出现误检、漏检的现象,极大影响检测仪的整体质量。
发明内容
本发明利用偏振光干涉产生的全息像,对被测物体进行偏振全息光学测量,实现偏振自动成像。
一种自动光学检测仪的光学装置,包括被测物1,所述被测物1置于第一凸透镜2的前方,顺次设置有棱镜3、第二凸透镜5、第一偏振器6、单轴晶体7、第二偏振器8和CCD图像传感器9,所述LED光源4设置于棱镜3的下方位置;
所述LED光源4采用LED无频闪光源;
所述棱镜3由两块三棱镜组成,其三棱镜胶合面镀有半反半透膜,用于反射LED光源4光线及透射被测物体光学;
所述被测物体1位于第一凸透镜2的一倍焦距上或焦距以内;
所述CCD图像传感器9处于第一凸透镜2的焦距上或焦距以内,第一凸透镜2和第二凸透镜5采用不同焦距镜片,第二凸透镜5焦距较大。
所述LED光源4位于棱镜3另一侧,其发出的光线可经棱镜3半反半透面反射到被测物体上。
所述第一凸透镜2和第二凸透镜5置于被测物体1之后,棱镜3位于2个凸透镜之间,棱镜的3另一侧面对应LED光源4,第一偏振器6和第二偏振器8位于凸透镜之后,单轴晶体7位于两个偏振器之间。
附图说明
图1为一种自动光学检测仪的光学系统简图。
附图标记说明:
。具体实施方式
结合图示1所示,本系统主要由被测物、凸透镜1、棱镜、凸透镜2、LED光源、偏振器1、单轴晶体、偏振器2和CCD组成。
本例中,LED光源为整个光学系统提供光源照明,照明光线经棱镜胶合面,可将光线反射到第一凸透镜2,由于出射的光线平行,经第一凸透镜2后,可将光线聚合为被测物体提供照明。被测物发出的光线经凸透镜1使光线平行出射,再经棱镜半反半透面,使光线投射到凸透镜2表面,再次将光线进行汇聚,之后经过偏振器,使自然的非偏振光转化为线偏振光,在单轴晶体的作用下,产生寻常光线和非常光线分量,由于这两种光线产生的折射现象不同,在到达CCD时由于自身的相干性会产生干涉,形成被测物的全息图,由此实现光学成像系统。
本发明实现了偏振全息光学系统,其测试精度高,测量速度快,整体分辨率高,为自动光学检测系统提供良好的图像采集。
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