[发明专利]一种压电超声振动吸附拾取器无效
| 申请号： | 201110380003.9 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102490132A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李华;殷振;谢鸥;曹自洋;赵江江;李艳;杨建锋;汪帮富;齐文春;张峰 | 申请（专利权）人： | 苏州科技学院 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 超声 振动 吸附 拾取 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，包括
一振动腔体（6）、振动腔体（6）的内部设有一空间作为振动腔（3），
一振动盘（2），置于振动腔（3）的后端，连接在振动腔体（6）的内部，振动盘（2）的后端设有压电陶瓷片（1），
一拾取吸盘（7），连接在振动腔体（6）的前端，与振动腔（3）连通，拾取吸盘（7）的后端还连通有吸气阀（4）和排气阀（5），拾取吸盘（7）的前端设有一个或多个小型弹性空腔，每个小型弹性空腔都与吸气阀（4）相连通。
2.根据权利要求1所述的压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，所述压电陶瓷片（1）与振动盘（2）粘接为一体。
3.根据权利要求1或2所述的压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，所述的压电陶瓷片（1）连接有压电超声驱动电源。
4.根据权利要求1所述的压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，所述振动盘（2）通过压紧端盖（8）弹性固定在振动腔体（6）的内部。
5. 根据权利要求1所述的压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，所述排气阀（5）与振动腔体（6）的前端内孔之间构成变截面的环形排气通道。
6. 根据权利要求1所述的压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，所述吸气阀（4）与排气阀（5）的内孔之间构成变截面的环形吸气通道。
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