[发明专利]一种乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂及其制备方法有效
申请号: | 201110378765.5 | 申请日: | 2011-11-25 |
公开(公告)号: | CN102392252A | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 董必钦;邢锋;丁铸;刘伟 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | C23F11/00 | 分类号: | C23F11/00 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 杜启刚 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 乙基 纤维素 类单氟 磷酸钠 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,其形态为胶囊,所述的胶囊包括囊芯和包衣,所述囊芯的组分包括单氟磷酸钠、微晶纤维素和吐温80,所述包衣的材料是乙基纤维素水分散体。
2.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,所述的囊芯按重量份由以下配比组成:
单氟磷酸钠 100;
微晶纤维素 60-140;
吐温80 6-14。
3.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,构成胶囊的囊芯和乙基纤维素水分散体的重量比是1∶0.25至1∶4。
4.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,囊芯的直径为0.3毫米至0.5毫米,胶囊的直径为0.35毫米至1.5毫米。
5.一种权利要求1所述乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
501)包衣液配制:按以下重量份称取包衣液原料:
乙基纤维素水分散体 100;
水 34-50;
将乙基纤维素水分散体在水中稀释、搅拌均匀,制成包衣液;
502)喷雾包衣:将囊芯放入喷雾包衣设备的滚筒中,在包衣模式下,用泵将包衣液通过设备的喷雾嘴喷到滚动的囊芯上,囊芯与包衣液中乙基纤维素水分散体的重量比为1∶0.25至1∶4;
503)干燥:在温度30-40℃,强制通风的条件下,在:在干燥设备的滚筒中干燥10-20分钟,然后自然降温、晾干。
6.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,包括囊芯制备步骤:
601)囊芯配制:按以下重量份称取囊芯原料:
单氟磷酸钠 100;
微晶纤维素 60-140;
吐温80 6-14;
水 8.8-9.6;
先将单氟磷酸钠与微晶纤维素二者充分混合,然后加入吐温80,搅拌均匀后加入水,使水在混合物中均匀存在;
602)挤出抽细:将所述的混合物在挤出设备的加料口投入,挤出米线条状的囊芯材料;
603)出料滚圆:将所述的米线条状囊芯材料,倒入滚圆设备中的滚筒,滚出囊芯微粒;
604)干燥:将囊芯滚出微粒干燥设备的滚筒中,干燥温度30-40℃强制通风的条件下,进行干燥处理。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于,所述的喷雾包衣设备、挤出设备、滚圆设备和干燥设备是都挤出滚圆机,所述的挤出滚圆机包括喷雾包衣模式、挤出模式、滚圆模式和干燥模式。
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