[发明专利]一种乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110378765.5 申请日: 2011-11-25
公开(公告)号: CN102392252A 公开(公告)日: 2012-03-28
发明(设计)人: 董必钦;邢锋;丁铸;刘伟 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: C23F11/00 分类号: C23F11/00
代理公司: 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 代理人: 杜启刚
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 乙基 纤维素 类单氟 磷酸钠 缓蚀剂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,其形态为胶囊,所述的胶囊包括囊芯和包衣,所述囊芯的组分包括单氟磷酸钠、微晶纤维素和吐温80,所述包衣的材料是乙基纤维素水分散体。

2.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,所述的囊芯按重量份由以下配比组成:

单氟磷酸钠                100;

微晶纤维素                60-140;

吐温80                    6-14。

3.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,构成胶囊的囊芯和乙基纤维素水分散体的重量比是1∶0.25至1∶4。

4.根据权利要求1所述的乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,囊芯的直径为0.3毫米至0.5毫米,胶囊的直径为0.35毫米至1.5毫米。

5.一种权利要求1所述乙基纤维素类单氟磷酸钠缓蚀剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

501)包衣液配制:按以下重量份称取包衣液原料:

乙基纤维素水分散体            100;

水                            34-50;

将乙基纤维素水分散体在水中稀释、搅拌均匀,制成包衣液;

502)喷雾包衣:将囊芯放入喷雾包衣设备的滚筒中,在包衣模式下,用泵将包衣液通过设备的喷雾嘴喷到滚动的囊芯上,囊芯与包衣液中乙基纤维素水分散体的重量比为1∶0.25至1∶4;

503)干燥:在温度30-40℃,强制通风的条件下,在:在干燥设备的滚筒中干燥10-20分钟,然后自然降温、晾干。

6.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,包括囊芯制备步骤:

601)囊芯配制:按以下重量份称取囊芯原料:

单氟磷酸钠                100;

微晶纤维素                60-140;

吐温80                    6-14;

水                        8.8-9.6;

先将单氟磷酸钠与微晶纤维素二者充分混合,然后加入吐温80,搅拌均匀后加入水,使水在混合物中均匀存在;

602)挤出抽细:将所述的混合物在挤出设备的加料口投入,挤出米线条状的囊芯材料;

603)出料滚圆:将所述的米线条状囊芯材料,倒入滚圆设备中的滚筒,滚出囊芯微粒;

604)干燥:将囊芯滚出微粒干燥设备的滚筒中,干燥温度30-40℃强制通风的条件下,进行干燥处理。

7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于,所述的喷雾包衣设备、挤出设备、滚圆设备和干燥设备是都挤出滚圆机,所述的挤出滚圆机包括喷雾包衣模式、挤出模式、滚圆模式和干燥模式。

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