[发明专利]一种聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂及其制备方法无效
| 申请号: | 201110378763.6 | 申请日: | 2011-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN102517590A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
| 发明(设计)人: | 董必钦;邢锋;丁铸;刘伟 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
| 主分类号: | C23F11/18 | 分类号: | C23F11/18;C23F11/00;B01J13/04 |
| 代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 杜启刚 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 聚丙烯 酸类单氟 磷酸钠 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,其形态为胶囊,所述的胶囊包括囊芯和包衣,所述囊芯的组分包括单氟磷酸钠、微晶纤维素和吐温80,所述包衣的组分包括聚丙烯酸树脂、滑石粉和羟丙基甲基纤维素。
2.根据权利要求1所述的聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,所述的囊芯按重量份由以下配比组成:
单氟磷酸钠 100;
微晶纤维素 60-140;
吐温80 6-14。
3.根据权利要求1所述的聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,所述的包衣按重量份由以下配比组成:
聚丙烯酸树脂 100;
滑石粉 40-60;
羟丙基甲基纤维素 8.2-9.8。
4.根据权利要求1所述的聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,所述的聚丙烯酸树脂是IV号聚丙烯酸树脂。
5.根据权利要求1所述的聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,构成胶囊的囊芯和包衣的重量比是1∶0.25至1∶4。
6.根据权利要求1所述的聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂,其特征在于,囊芯的直径为0.3毫米至0.5毫米,胶囊的直径为0.35毫米至1.5毫米。
7.一种权利要求1所述聚丙烯酸类单氟磷酸钠缓蚀剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
701)包衣液配制:按以下重量份称取包衣液原料:
聚丙烯酸树脂 100;
滑石粉 40-60;
羟丙基甲基纤维素 8.2-9.8;
无水乙醇 600-1000;
将聚丙烯酸树脂溶于无水乙醇中,搅拌均匀,加入滑石粉与羟丙甲基纤维素,搅拌均匀,使充分溶解;
702)喷雾包衣:将囊芯放入喷雾包衣设备的滚筒中,在包衣模式下,用泵将包衣液通过设备的喷雾嘴喷到滚动的囊芯上,囊芯与包衣液中干物质的重量比为1∶0.25至1∶4;
703)干燥:在温度30-40℃,强制通风的条件下,在:在干燥设备的滚筒中干燥10-20分钟,然后自然降温、晾干。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,包括囊芯制备步骤:
801)囊芯配制:按以下重量份称取囊芯原料:
单氟磷酸钠 100;
微晶纤维素 60-140;
吐温80 6-14;
水 8.8-9.6;
先将单氟磷酸钠与微晶纤维素二者充分混合,然后加入吐温80,搅拌均匀后加入水,使水在混合物中均匀存在;
802)挤出抽细:将所述的混合物在挤出设备的加料口投入,挤出米线条状的囊芯材料;
803)出料滚圆:将所述的米线条状囊芯材料,倒入滚圆设备中的滚筒,滚出囊芯微粒;
804)干燥:将囊芯滚出微粒干燥设备的滚筒中,干燥温度30-40℃强制通风的条件下,进行干燥处理。
9.根据权利要求7或8所述的制备方法,其特征在于,所述的喷雾包衣设备、挤出设备、滚圆设备和干燥设备是都挤出滚圆机,所述的挤出滚圆机包括喷雾包衣模式、挤出模式、滚圆模式和干燥模式。
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