[发明专利]用于测量带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法

权利要求书

1.一种确定带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法，其特征在于所述方法包括用带电粒子束观察所述样本载体，所述观察给出关于所述样本载体的温度的信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述观察导致所述样本载体的两个部分（210a，210b）的相对位置的信息，作为一个或者多个固体的热膨胀或者收缩的结果，所述相对位置依赖于温度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述样本载体的一部分由具有不同膨胀系数的至少两种材料（206，208）组成，作为其结果，所述部分表现出于依赖于温度的变形。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述样本载体的所述部分由至少两种金属（206，208）组成并且所述部分表现为双金属带。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述样本载体包括在感兴趣温度范围中表现出一种或者多种相转变或者分离的结晶部分，并且所述观察导致所述样本载体的所述结晶部分的相或者相分离的信息。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述观察包括对发光的观察，所述发光由用带电粒子照射所述样本载体的至少部分来引起，并且所述观察导致关于所述发光的颜色和/或衰减时间的信息，所述颜色和/或衰减时间依赖于温度。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述样本载体包括表现不同颜色的荧光的两种荧光材料，所述颜色的光度和/或与每种颜色关联的所述衰减时间之比依赖于温度，并且所述方法包括比较所述两种或者更多荧光材料的所述光度或者衰减时间。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述观察包括观察所述样本载体的一部分对带电粒子束的偏转，所述样本载体的所述部分具有作为带电粒子的照射的结果的电势、因此给出关于所述样本载体的材料的电阻的信息。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述观察给出关于在所述样本载体的至少部分的材料中诱发的张力。

10.根据权利要求9所述的方法，其中在透射电子显微镜中或者在扫描透射电子显微镜中使用衍射图案来确定所述张力。

11.根据任一前述权利要求所述的方法，其中温度测量是所述样本具有高于还是低于预定温度的温度的测量。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述预定温度由所述样本支持器的两个部分的参考位置或者所述样本支持器的一部分的相转变确定。

13.一种样本载体，用于执行根据权利要求2-4中的任一权利要求所述的方法，其特征在于所述样本支持器表现为由具有不同热膨胀系数的至少两种材料组成的至少一个独立带，作为其结果，所述带针对不同温度表现出不同的形式。

14.一种表现出结晶部分（301）的样本载体，所述结晶部分在感兴趣的温度范围中表现出一种或者多种相变。