[发明专利]电子纸有源基板及其制造方法和电子纸显示屏

权利要求书

1.一种电子纸有源基板，包括基板、栅极、第一公共电极、栅极绝缘层、有源层、源漏极、钝化层、树脂钝化层、以及像素电极层；所述栅极和所述第一公共电极布置在所述基板上，并且所述栅极上依次布置有所述栅极绝缘层、有源层、源漏极、钝化层、树脂钝化层以及像素电极层；其特征在于，

还包括第二公共电极，所述第一公共电极上依次布置有栅极绝缘层、源漏极、钝化层、第二公共电极、树脂钝化层、以及像素电极层，并且所述第一公共电极和所述第二公共电极电连接。

2.根据权利要求1所述的电子纸有源基板，其特征在于，所述第一公共电极和所述第二公共电极平行布置，通过穿过所述栅极绝缘层以及所述钝化层的第二过孔相互电连接。

3.根据权利要求1或2所述的电子纸有源基板，其特征在于，所述第二公共电极的材料为金属或氧化铟锡，或者为金属或氧化铟锡的组合。

4.根据权利要求3所述的电子纸有源基板，其特征在于，所述第一公共电极的面积与像素电极层的面积之比不小于30％，并且所述第二公共电极的面积与像素电极层的面积之比不小于30％。

5.根据权利要求1或2所述的电子纸有源基板，其特征在于，在没有第一公共电极和第二公共电极的源漏极之上所述树脂钝化层和钝化层中形成有第一过孔，以使得像素电极层通过所述第一过孔与所述源漏极电连接。

6.一种电子纸有源基板制造方法，其特征在于包括：

栅极及第一公共电极形成步骤，用于在基板上形成栅极和第一公共电极；

栅极绝缘层形成步骤，用于在栅极、第一公共电极以及基板表面形成栅极绝缘层；

有源层形成步骤，在栅极绝缘层上形成有源层；

源漏极形成步骤，用于在有源层上形成源漏极，其中，源漏极至少部分地布置在第一公共电极上的栅极绝缘层上，并且源漏极未完全覆盖第一公共电极上的栅极绝缘层；

钝化层形成步骤，用于在源漏极形成步骤所得到的结构上形成钝化层；

第二过孔形成步骤，用于形成第二过孔，使之穿透所述钝化层和所述栅极绝缘层，从而通过第二过孔暴露第一公共电极的一部分；

第二公共电极形成步骤，用于形成第二公共电极，所述第二公共电极在钝化层上形成并通过所述第二过孔与所述第一公共电极相连。

7.根据权利要求6所述的电子纸有源基板制造方法，其特征在于还包括：

树脂钝化层形成步骤，用于在第二公共电极形成步骤所得到的结构表面上形成树脂钝化层；

第一过孔形成步骤，在没有第一公共电极和第二公共电极的源漏极之上形成第一过孔以使之穿过树脂钝化层和钝化层，以使得源漏极的一部分暴露；以及

像素电极层形成步骤，用于在第一过孔形成步骤后所得到的结构表面形成像素电极层，所述像素电极层通过所述第一过孔与所述源漏极的暴露部分连接。

8.根据权利要求7所述的电子纸有源基板制造方法，其特征在于所述第一过孔形成步骤包括：

第一过孔第一形成步骤，用于在钝化层形成步骤之后，在所述钝化层中形成第一过孔下部分。

9.根据权利要求8所述的电子纸有源基板制造方法，其特征在于，树脂钝化层形成步骤使得所述树脂钝化层填充所述第一过孔下部分；

所述第一过孔形成步骤还包括第一过孔第二形成步骤，用于在树脂钝化层中形成所述第一过孔，所述第一过孔包含了所述第一过孔下部分，从而所述第一过孔使得源漏极的一部分暴露；

所述像素电极层形成步骤，用于在第一过孔第二形成步骤所得到的结构表面形成像素电极层，所述像素电极层通过所述第一过孔与所述源漏极的暴露部分连接。

10.一种电子纸显示屏，其特征在于包括根据权利要求1至6之一所述的电子纸有源基板。