[发明专利]四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法有效
申请号: | 201110371987.4 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN102507158A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 曾爱军;刘龙海;袁乔;郑乐行;黄惠杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 四分之一 相位 延迟 分布 实时 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置,特征在于其构成包括准直光源(1),沿所述的准直光源(1)发出的光束前进方向上,依次是圆起偏器(2)、标准四分之一波片(4)、渥拉斯顿棱镜(5)和图像传感器(6),该图像传感器(6)的输出端接计算机(7),所述的渥拉斯顿棱镜(5)的两个透振方向分别与所述的标准四分之一波片(4)的快轴方向成45°和135°夹角,在所述的圆起偏器(2)和标准四分之一波片(4)之间设置待测波片(3)的插口。
2.根据权利要求1所述的四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置,其特征在于所述的图像传感器(6)为CCD图像传感器。
3.根据权利要求1或2所述的四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置,其特征在于所述的计算机(7)为带有图像采集卡的计算机。
4.利用权利要求1所述的四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置测量波片的相位延迟量分布的方法,其特征在于包括如下步骤:
①将待测波片(3)插入所述的待测波片的插口;
②启动所述的准直光源(1)、图像传感器(6)和计算机(7),所述的图像传感器(6)同时记录两幅子图像通过图像采集卡输入所述的计算机(7),该计算机(7)将两幅子图像以同样的方法像素化并建立相同的坐标系,待测波片(3)上一点(x,y)在两幅子图像中坐标值相等的对应点的光强分别为I1(x,y)和I2(x,y);
③所述的计算机对所述的待测波片(3)上点(x,y)进行下列运算:
得到待测波片3上该点(x,y)的相位延迟量δ(x,y);
④所述的计算机(7)对所述的待测波片(3)所有的点(x,y)重复步骤③,即获得待测波片(3)的相位延迟量分布。
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