[发明专利]能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统

权利要求书

1.能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，它包括毛细管(1)，其特征是：它还包括反射镜(2)、滤光片(3)、光电二极管(4)和示波器(5)，毛细管(1)输出的辐射光入射至反射镜(2)，经反射镜(2)反射至滤光片(3)，经滤光片(3)滤光后入射至光电二极管(4)的光输入端；

示波器(5)用于采集光电二极管(4)的电信号并生成所述电信号的波形；示波器(5)还用于检测并获得毛细管(1)的放电电流的波形；示波器(5)还用于检测并获得毛细管(1)的放电电压的波形；

光电二极管(4)的电信号波形与毛细管(1)的放电电流波形和放电电压波形之间形成时间关系波形，分析所述时间关系波形获得极紫外光辐射特性。

2.根据权利要求1所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于反射镜(2)的非反射面与水平面的夹角为45度。

3.根据权利要求1或2所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于反射镜(2)为Mo/Si反射镜。

4.根据权利要求1或2所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于反射镜(2)为Mo/Be反射镜。

5.根据权利要求1或2所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于光电二极管(4)为快响应光电二极管。

6.根据权利要求1或2所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于示波器(5)通过电流线圈测量毛细管(1)的放电电流并生成所述放电电流的波形。

7.根据权利要求1或2所述的能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，其特征在于示波器(5)通过高压探头测量毛细管(1)的放电电压并生成所述放电电压的波形。