[发明专利]衍射仪

权利要求书

1.一种用于测量粉末样品的衍射仪，包括：

用于保持粉末样品的样品台(17)；

用于发射X射线束(6)的X射线源(2)；

具有衍射表面的单色仪晶体(12)，被布置为将单色X射线束以与衍射表面成小于5°的掠出射角向着样品台衍射，以在样品台处具有小于60μm的斑点宽度；

至少一个检测器晶体(18)，用于测量同时以多个衍射角从粉末样品衍射的X射线的强度；以及

处理装置(24)，用于从测量的X射线计算衍射图案。

2.根据权利要求1所述的衍射仪，其中，所述检测器晶体或者每一个检测器晶体(18)被布置为离样品台300mm或更小。

3.根据权利要求1或2所述的衍射仪，其中，单色仪晶体(12)被布置为，使入射在样品上的单色X射线束以从0.005°到0.02°的角散度发生衍射。

4.根据权利要求1、2或3所述的衍射仪，还包括：抛物面镜(10)，被布置为将来自X射线源的X射线束(6)向着单色仪晶体(12)引导。

5.根据任何一项前述权利要求所述的衍射仪，其中，所述检测器晶体或者每一个检测器晶体(18)是平面的。

6.根据任何一项前述权利要求所述的衍射仪，其中，样品台(17)具有用于粘附薄层的粉末样品(14)的粘合剂材料(16)的安装表面。

7.根据任何一项前述权利要求所述的衍射仪，包括多个检测器晶体，

其中，所述检测器晶体沿着来自单色仪(12)的单色X射线束的通过样品台的线被布置在该线的交替侧。

8.根据任何一项前述权利要求所述的衍射仪，还包括：

用于在数据采集期间在样品台处移动样品台(17)的装置；

其中，处理装置(24)适合于在正进行测量的同时处理测量的X射线强度并且在已经采集了足够的数据时停止数据采集。

9.一种进行衍射测量的方法，包括：

将粉末样品(14)安装在样品台(17)上；

将来自X射线源(2)的X射线束(6)发射到具有衍射表面的单色仪晶体(12)上，该单色仪晶体(12)被布置为将单色X射线束以与衍射表面成小于5°的掠出射角向着样品台衍射，以在样品台处具有小于60μm的斑点宽度；

使用至少一个检测器晶体(18)来测量通过粉末样品并同时以多个衍射角从粉末样品衍射的X射线的强度；以及

从测量的X射线计算衍射图案。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，检测器晶体被布置为离样品台300mm或更小。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，单色仪晶体被布置为，使入射在样品上的单色X射线束发生衍射，以具有从0.005°到0.02°的角散度。

12.根据权利要求9、10或11所述的方法，其中，粉末样品(14)具有不大于10μm的厚度。

13.根据权利要求9至12中的任何一项所述的方法，包括将粉末样品(14)安装到样品台(17)上的粘合剂材料(16)的安装表面上。

14.根据权利要求9至13中的任何一项所述的方法，还包括使用多个检测器晶体测量强度，所述多个检测器晶体沿着从单色仪(12)到样品(14)的单色X射线束的通过样品的线被布置于该线的交替侧。

15.根据权利要求9至14中的任何一项所述的方法，还包括在数据采集期间移动样品台(17)。

16.根据权利要求9至15中的任何一项所述的方法，还包括在正进行测量的同时处理测量的X射线强度并在已经采集了足够的数据时停止数据采集。