[发明专利]放射线检测装置和放射线检测系统

说明书

技术领域

本发明涉及适用于医疗成像装置、非破坏性测试装置或使用放射线的分析装置等的放射线检测装置和放射线检测系统。

背景技术

近年来，薄膜半导体制造技术已被用于由诸如TFT(薄膜晶体管)的开关元件和诸如光电转换元件的转换元件的组合实现的检测装置或放射线检测装置的制作中。日本专利申请公开No.07-027864公开了在由X射线源发射的X射线的入射侧设置固态光电检测器并且在相对侧设置闪烁体的放射线检测装置。在放射线入射侧的相对侧设置闪烁体的放射线检测装置中的问题中的一个在于，入射到光电检测器上的放射线经受明显的散射。用于减少散射的一种方法是使用位于光电检测器和X射线源之间的放射线掩模或抗散射格子(grid)。但是，外部掩模或格子的使用使入射到光电检测器上的放射线的水平衰减。用于减少放射线的散射的另一个解决方案是制作具有内置的抗散射格子的光电检测器。但是，难以确定格子的位置。此外，在日本专利申请公开No.07-027864中，虽然格子的位置要被适当地确定以应对散射的放射线，但是，没有公开设置用于提高图像锐度(sharpness)的格子的位置。

发明内容

鉴于以上情况，本发明提供用于在这样的放射线检测装置中有效地去除散射的放射线的技术：在该放射线检测装置中，在光电检测器的放射线入射侧的相对侧设置闪烁体。在本发明的一个方面中，放射线检测装置包括：闪烁体，被配置为将入射的放射线转换成可见光；光电转换单元，包含以二维阵列布置于基板上的多个像素，每个像素被配置为将通过闪烁体从入射的放射线转换的可见光转换成电信号；以及抗散射格子，包含交替布置的放射线吸收部件和放射线透射部件。格子、基板、光电转换单元和闪烁体从放射线检测装置的放射线入射侧到其相对侧被依次地设置。

因此，在以上述方式配置的在光电检测器的放射线入射侧的相对侧设置闪烁体的放射线检测装置中，散射的放射线被有效地去除。

参照附图阅读示例性实施例的以下描述，本发明的其它特征将变得清晰。

附图说明

图1A和图1B是根据本发明的实施例的放射线检测装置的平面图和断面图。

图2A和图2B是根据本发明的实施例的放射线检测装置的等效电路图及其一个像素的断面图。

图3A和图3B是示出本发明的实施例的概念的断面图。

图4A和图4B是示出根据本发明的实施例的放射线检测装置的制造过程的断面图。

图5A和图5B是示出根据本发明的实施例的放射线检测装置的制造过程、更特别地是安装抗散射格子的过程的断面图。

图6是示出根据本发明的实施例的放射线检测装置的断面图。

图7A～7E是示出根据本发明的实施例的制造放射线检测装置的过程的一部分的断面图。

图8是示出根据本发明的实施例的使用放射线检测装置的放射线检测系统的图。

具体实施方式

以下结合附图参照实施例进一步详细地描述本发明。在本说明书中，使用术语“放射线”来描述通过放射性衰变(radioactive decay)而辐射的诸如α射线、β射线、γ射线等的包含粒子束的各种类型的放射线和具有与粒子束的能量相近的高能量的其它的射束。例如，X射线、宇宙(cosmic)射线等落入在本申请中使用的放射线的范围内。

第一实施例

首先，以下参照图1A和图1B，描述根据本发明的第一实施例的放射线检测装置。图1A和图1B分别是放射线检测装置10(沿断面标记IB-IB)的平面图和断面图。在放射线检测装置10中，光电转换单元3被设置在具有绝缘表面的诸如玻璃基板的基板2的第一表面侧。光电转换单元3包含以二维阵列布置的用于将通过由以下描述的闪烁体4执行的转换而获得的可见光转换成电信号的多个像素。每个像素包含光电转换元件和开关元件。注意，基板2和光电转换单元3被设置为使得放射线从基板2的与第一表面侧相对的第二表面侧入射到基板2上。以下，对于各元件，上面入射放射线的表面将被称为第二表面，而与第二表面相对的表面将被称为第一表面。

印刷电路板7a和7b通过柔性布线板6与基板2的第一表面的端部连接。各种集成电路被安装在柔性布线板和印刷电路板上。集成电路包含例如用于驱动光电转换单元3的驱动电路、用于从光电转换单元3读取电信号的读取电路、用于向驱动电路和读取电路中的至少一个供给电力的电源电路、以及用于控制驱动电路和读取电路中的至少一个的控制电路等。