[发明专利]一种用于PECVD多点进气多区可调装置

权利要求书

1.一种用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于：包括排气区体、 进水管(4)、回水管(8)、硅烷进气口(5)及氨气进气口(6)，其中进水管(4)、 回水管(8)、硅烷进气口(5)及氨气进气口(6)均布置在排气区体上；所述 排气区体包括第一排气区(1)、第二排气区(2)及第三排气区(3)，各工艺区 域分别安装有进气装置和排气装置，各工艺区域的进气装置分别由各自的气源 进气，在气源与各进气装置之间安装有至少一个质量流量计。

2.按权利要求1所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述排气区体底部设有底部气孔喷头，该底部气孔喷头通过管路与氨气进气口 (6)连接。

3.按权利要求2所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述底部气孔喷头上的气孔呈“一”字排列。

4.按权利要求1所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述排气区体端部设有端部气孔喷头，该端部气孔喷头通过管路与硅烷进气口 (5)连接。

5.按权利要求4所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述端部气孔喷头上的气孔呈“一”字排列。

6.按权利要求1所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述排气区体内设有防护槽。

7.按权利要求6所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述防护槽为U形或V形。

8.按权利要求6所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述防护槽采用不锈钢或碳纤维材料。

9.按权利要求1所述的用于PECVD多点进气多区可调装置，其特征在于： 所述硅烷进气口(5)设在排气区体的左侧和右侧。