[发明专利]一种曝光系统无效
申请号: | 201110357653.1 | 申请日: | 2011-11-11 |
公开(公告)号: | CN102402131A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 刘良军 | 申请(专利权)人: | 深南电路有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 彭愿洁;李文红 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 系统 | ||
1.一种曝光系统,包括放板台面、线路板、底片和玻璃盘,其特征在于,
所述放板台面、线路板、底片和玻璃盘横向依次垂直于水平面布置;
所述放板台面用于安装在机械固定装置上,所述线路板被所述放板台面上设置的吸嘴吸住,而所述吸嘴的出气口用于通过导气管连接抽气装置;所述底片被所述玻璃盘上设置的吸气件吸住,而所述吸气件的出气口用于通过导气管连接抽气装置;或者所述底片通过胶带粘合在所述玻璃盘上;
所述放板台面上设置有一圈密封胶圈,所述密封胶圈用于将所述放板台面与所述玻璃盘密封成一密闭空间,使所述线路板和所述底片封装在所述密闭空间内;其中,所述密闭空间内的气体通过所述放板台面上设置的第一吸气孔排出,使所述底片紧压所述线路板,而所述第一吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。
2.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于,
所述密封胶圈在充气状态下将所述放板台面和所述玻璃盘密封成一密闭空间,所述密闭空间内封装所述线路板和所述底片。
3.根据权利要求1或2所述的曝光系统,其特征在于,
所述第一吸气孔均匀分布在所述放板台面上,并且趋近所述放板台面的边缘。
4.根据权利要求1或2所述的曝光系统,其特征在于,
所述吸嘴呈至少一圈均匀分布在所述放板台面上。
5.根据权利要求1或2所述的曝光系统,其特征在于,
所述放板台面上还设置有至少一排均匀分布的第二吸气孔,所述第二吸气孔用于吸住所述线路板,而所述第二吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。
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