[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的制备方法

权利要求书

1.一种图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括如下依次进行的步骤：

(1)、在蓝宝石基片的一个面上磁控溅射第一金属铝膜；

(2)、在第一金属铝膜上施涂第一光刻胶膜，烘干，再在烘干的第一光刻胶膜上施涂第二光刻胶膜，烘干，然后进行电子束曝光、显影、定影，获得电子束光刻胶图形，其中第一光刻胶比第二光刻胶具有更好的光敏性，使得显影后第一光刻胶膜去除部分的尺寸大于第二光刻胶膜去除部分的尺寸，从而形成贯穿所述第一光刻胶膜和第二光刻胶膜的腔形结构缺口；

(3)、在定影后的第二光刻胶膜上溅射第二金属铝膜，同时通过腔形结构缺口溅射到第一金属铝膜上形成金属铝膜凸台；

(4)、将第二金属铝膜剥离掉并去除第一光刻胶膜和第二光刻胶膜，在蓝宝石基片上获得包括第一金属铝膜和金属铝膜凸台的图形化金属铝膜；

(5)、在400℃～600℃下进行低温热处理，使图形化金属铝膜充分氧化成为图形化多晶Al₂O₃膜；

(6)、最后置于950℃～1250℃下进行高温热处理，使图形化多晶Al₂O₃膜完全转化为图形化单晶Al₂O₃膜，即得到图形化蓝宝石衬底。

2.根据权利要求1所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中第一光刻胶膜选用P(MMA-MAA)光刻胶，第二光刻胶膜选用PMMA光刻胶。

3.根据权利要求1或2所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)包括如下分步骤：

(41)、首先置于能溶解第一光刻胶膜和第二光刻胶膜的溶剂中浸泡后在该溶剂中进行超声处理，将第二金属铝膜剥离掉；

(42)、接着在酒精中进行超声处理，用去离子水冲洗，然后用惰性气体吹干。

4.根据权利要求3所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(41)中的溶剂选用丙酮。

5.根据权利要求1或2所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(5)中低温热处理的温度为400℃～500℃。

6.根据权利要求1至4任一项所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(6)中高温热处理的温度为1000℃～1200℃。

7.根据权利要求1或2所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述第一金属铝膜的厚度为5nm～20nm。

8.根据权利要求1或2所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述第二金属铝膜的厚度为80nm～150nm。

9.根据权利要求1或2所述的图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中第一光刻胶膜的厚度为150nm～300nm，第二光刻胶膜的厚度为100nm～300nm。