[发明专利]曝光装置、曝光方法以及显示用面板基板的制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，包括：

夹具，支撑着涂布有光刻胶的基板；

多个光束照射装置，具有供给光束的照明光学系统、空间光调制器、驱动电路、及照射光学系统，所述空间光调制器将排列于两个方向的多个面镜的角度予以变更，从而对光束进行调制，所述驱动电路基于描绘数据来将所述空间光调制器予以驱动，所述照射光学系统照射出经所述空间光调制器调制的光束；以及

移动单元，使所述夹具与所述多个光束照射装置相对地移动，

借由所述移动单元来使所述夹具与所述多个光束照射装置相对地移动，借由来自所述多个光束照射装置的多条光束来对基板进行扫描，在所述基板上描绘出图案，所述曝光装置的特征在于：

各光束照射装置包括调节单元，该调节单元根据所述各光束照射装置的所述空间光调制器的面镜的动作角度的不均，对向所述各光束照射装置的所述空间光调制器供给的光束的入射角度进行调节。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：其中

所述各光束照射装置的所述照明光学系统包括面镜，该面镜使光束反射，将反射光供给至所述各光束照射装置的所述空间光调制器，

所述各光束照射装置的所述调节单元包括：第一单元，根据所述各光束照射装置的所述空间光调制器的所述面镜的动作角度的不均，将所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜的角度予以变更；以及第二单元，根据所述面镜的角度来将所述面镜的位置予以变更。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：其中

所述各光束照射装置的所述照明光学系统包括光学零件，该光学零件使光束汇聚，接着将该光束供给至所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜，

所述第二单元根据所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜的角度，使所述各光束照射装置的整个所述照明光学系统移动，将所述面镜的位置予以变更。

4.一种曝光方法，

利用夹具来支撑着涂布有光刻胶的基板，

使夹具与多个光束照射装置相对地移动，所述多个光束照射装置包括：供给光束的照明光学系统、空间光调制器、驱动电路、以及照射光学系统，所述空间光调制器将排列于两个方向的多个面镜的角度予以变更，从而对光束进行调制，所述驱动电路基于描绘数据来将所述空间光调制器予以驱动，所述照射光学系统照射出经所述空间光调制器调制的光束，

借由来自所述多个光束照射装置的多条光束来对基板进行扫描，在所述基板上描绘出图案，所述曝光方法的特征在于：

根据各光束照射装置的所述空间光调制器的面镜的动作角度的不均，对向所述各光束照射装置的所述空间光调制器供给的光束的入射角度进行调节。

5.根据权利要求4所述的曝光方法，其特征在于：其中

在所述各光束照射装置的所述照明光学系统中，利用所述面镜来使光束反射，将反射光供给至所述各光束照射装置的所述空间光调制器，

根据所述各光束照射装置的所述空间光调制器的所述面镜的动作角度的不均，将所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜的角度予以变更，且根据所述面镜的角度来将所述面镜的位置予以变更，对向所述各光束照射装置的所述空间光调制器供给的光束的入射角度进行调节。

6.根据权利要求5所述的曝光方法，其特征在于：其中

在所述各光束照射装置的所述照明光学系统中，利用光学零件来使光束汇聚，接着将该光束供给至所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜，

根据所述各光束照射装置的所述照明光学系统的所述面镜的角度，使所述各光束照射装置的整个所述照明光学系统移动，将所述面镜的位置予以变更。

7.一种显示用面板基板的制造方法，其特征在于：

使用根据权利要求1至3中任一项所述的曝光装置来对基板进行曝光。

8.一种显示用面板基板的制造方法，其特征在于：

使用根据权利要求4至6中任一项所述的曝光方法来对基板进行曝光。