[发明专利]一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法有效
| 申请号： | 201110354870.5 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102507040A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张荣君;郑玉祥;陈良尧;张帆;林崴;耿阳;卢红亮 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 椭偏仪 薄膜 温度 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法，其特征在于具体步骤为：
（1）首先，利用反射式椭偏仪测量几组不同温度下薄膜的折射率谱线，作为该薄膜的标准折射率谱NT (λ)；
（2）然后，利用反射式椭偏仪测量在相同实验条件下温度未知的某一被测薄膜的折射率谱线Nx (λ)；
（3）采用最小二乘法，计算被测薄膜的折射率谱线Nx (λ)与每组标准折射率谱线NT (λ)的对应各波长点的折射率差值平方，并分别求和，得到一组方差 :
（1）
（4）比较这一组方差的大小，数值最小的方差所对应的标准折射率谱线就是被测薄膜的最佳匹配谱线，该标准谱线所对应的温度就是被测薄膜的温度。
2.根据权利要求1所述的基于椭偏仪的薄膜温度测量方法，其特征在于步骤（1）中，测量薄膜的标准折射率谱时，所述不同温度的误差为20 oC-50 oC 。
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