[发明专利]显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置

权利要求书

1.一种显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于：包括液压精密驱动控制单元、测试执行单元、三自由度调整工作台、测试检测单元、连接及支撑单元；所述的液压精密驱动控制单元、测试执行单元是：伺服液压缸Ⅰ~Ⅳ（4、36、31、34）的输出端分别与移动车架组（5）相连，所述移动车架组（5）与基板（14）滑动连接；所述伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ（4、36）分别通过螺钉固定安装在测试平台的前侧板（30）上，伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ（31、34）分别固定在测力车架组（9）上，所述测力车架组（9）分别与光杠Ⅰ、Ⅱ（3、13）滑动套接；卡具Ⅰ、Ⅱ（6、8）分别通过固定块Ⅰ、Ⅱ（35、33）固定在移动车架组（5）及测试车架组（9）的上方。

2.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于：所述的移动车架组（5）是由移动滑块（39）、固定块Ⅰ（35）及卡具Ⅰ（6）组成，所述移动滑块（39）与基板（14）上的导轨滑动连接，所述固定块Ⅰ（35）通过螺钉固定连接在移动滑块（39）上方的凹槽中，试件夹持的卡具Ⅰ（6）固定连接在固定块Ⅰ（35）上面。

3.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于，所述的测力车架组（9）是由测力滑块（37）、固定块Ⅱ（33）、卡具Ⅱ（8）组成，所述测力滑块（37）与光杠Ⅰ（3）滑动套接；所述固定块Ⅱ（33）通过螺钉固定连接在测力滑块（37）上的凹槽中，所述卡具Ⅱ（8）固定在固定块Ⅱ（33）上面。

4.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于，所述的测试检测单元由测力传感器（11）和位移传感器（38）组成，所述测力传感器（11）的一端与连接块Ⅰ（32）螺纹固定连接，进而与测力车架组（9）上的固定块Ⅱ（33）固定连接，另一端与后侧板（10）上的连接块Ⅱ（12）连接，所述位移传感器（38）的一端固定在前侧板（30）上，另一端与移动车架组（5）连接。

5.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于，所述的三自由度调整工作台是由楔形块（15）、楔形导轨（16）、调整块（17）、调整螺钉Ⅰ、Ⅱ（23、27）、X、Y方向调整工作台（19、18）及锥齿轮组Ⅰ、Ⅱ（21、22）组成，在基板（14）下方通过螺钉固定有楔形块（15），X、Y方向调整工作台（19、18）是由在X、Y方向具有两个自由度的平移动的工作台基底构成，其X方向的调整丝杠通过一组X方向万向节（26）与仪器外部的X方向操纵手轮（25b）连接，Y方向的调整丝杠通过一对啮合的锥齿轮组Ⅰ、Ⅱ（21、22）和一组Y方向万向节（24）与外部的Y方向操纵手轮（25a）连接；所述的X、Y方向调整工作台（19、18）通过螺钉分别于与上部的楔形导轨（16）和底部的固定支座（20）连接，固定支座（20）与显微组件的载物台相连接。

6.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于，所述的卡具Ⅰ、Ⅱ（6、8）与试件（7）相配合。

7.根据权利要求1所述的显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于，所述的伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ（4、36）分别通过液压管Ⅱ（2）及三通（28）与外部的伺服液压阀连接，伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ（31、34）分别通过液压管Ⅰ（1）及两通（29）与所述外部的伺服液压阀连接。