[发明专利]一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法有效
申请号: | 201110352115.3 | 申请日: | 2011-11-09 |
公开(公告)号: | CN103105419A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 姜来新;毛启明;尹桂林;何丹农 | 申请(专利权)人: | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04 |
代理公司: | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人: | 唐莉莎 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化铝 氧化 复合 纳米 制备 方法 | ||
1.一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
配置高分子聚合物溶液,用静电纺丝方法制备聚合物纤维;将纤维干燥箱中老化后,再用原子层沉积方法在纤维上制备氧化铝和氧化锡薄膜;最后将复合纤维高温下烧结得到氧化铝-氧化锡复合结构纳米管;
其中所述高分子聚合物为聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或其组合,所述高分子聚合物溶液的质量浓度为5~10%。
2.根据权利要求1所述一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于,所述静电纺丝方法制备聚合物纤维,所加电压为8~15 KV,喂液速度为0.5~2ml/h。
3.根据权利要求1所述一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于,所述老化为在温度为200 ℃的干燥箱中老化2小时。
4.根据权利要求1所述一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于,所述原子层沉积方法制备氧化铝薄膜,所用沉积温度为120~200℃,将前驱体三甲基铝通入0.2秒脉冲时间,清洗脉冲时间为4s;通入水蒸汽脉冲0.2秒,清洗脉冲时间4秒,至此完成一个循环的氧化铝的沉积,通过控制循环数量得到一定厚度的氧化铝薄膜。
5.根据权利要求1所述一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于,所述原子层沉积制备氧化锡薄膜所用沉积温度为550 ℃以上,将前驱体四氯化锡通入0.3秒脉冲时间,清洗脉冲时间为5秒;通入水蒸汽脉冲0.2秒s,清洗脉冲时间4秒,至此完成一个循环的氧化锡的沉积,通过控制循环数量得到一定厚度的氧化锡薄膜。
6.根据权利要求1所述一种氧化铝-氧化锡复合纳米管的制备方法,其特征在于,所述复合纤维的烧结温度为1000℃以上,烧结时间大于1小时。
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