[发明专利]多晶硅铸锭用坩埚涂覆机及坩埚涂覆方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撑部(1-1)，支撑部(1-1)上端有铰支座(4)，铰支座(4)上铰接有转轴支架(3)，转轴支架(3)内穿入转轴(5)，转轴(5)与转轴支架(3)之间装有轴承，所述的转轴(5)的一端伸出所述的转轴支架(3)外可拆卸的固定有坩埚(6)，所述的转轴(5)的另一端连接有动力源(2)；所述的转轴支架(3)靠近坩埚(6)的一端与所述的底座(1)之间装有液压支柱(7)，液压支柱(7)的一端与所述的转轴支架(3)铰接，液压支柱(7)的另一端与所述的底座(1)铰接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的坩埚(6)为有密封盖的方形盒体。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的支撑部(1-1)为固定支柱。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚涂覆机，其特征在于：所述的动力源(2)是电机。

5.一种多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征是包括如下步骤：

步骤一、首先布置好可上下转动的转轴支架(3)，然后将坩埚(6)安装到转轴支架(3)内的转轴(5)上，固定坩埚并清理坩埚内壁，准备好后，用液压支柱(7)将转轴支架(3)调整至垂直状态，使坩埚开口朝上；

步骤二、将准备好的足量的浆料倒入坩埚内，盖上密封盖将坩埚封闭，然后启动动力装置使转轴(5)旋转，带动坩埚沿垂直轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的底部涂覆均匀；

步骤三、旋转30秒～90秒后，使转轴停止，用液压支柱(7)将转轴支架(3)调整至水平状态，然后启动动力装置使转轴(5)旋转，带动坩埚沿水平轴线匀速旋转，浆料随着坩埚的旋转将坩埚的侧面涂覆均匀；

步骤四、旋转90秒～180秒后，使转轴停止，将转轴支架(3)由水平状态向下倾斜，打开坩埚密封盖，使剩余浆料自动流出；然后调整转轴支架(3)角度，将坩埚取下，完成涂覆过程。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征在于：步骤二中，倒入坩埚内的浆料的高度为2～3厘米。

7.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭坩埚涂覆方法，其特征在于：步骤二和步骤三中，所述转轴(5)的转速为每分钟8～12转。