[发明专利]一种透射电子显微镜的物镜极靴有效
申请号: | 201110349944.6 | 申请日: | 2011-11-08 |
公开(公告)号: | CN102376515A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 张春熹;董全林;姚骏恩;张亚彬;吴国增;南国;高阳;陈楠;范运强;刘雪萍;陈川;莫西 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01J37/141 | 分类号: | H01J37/141;H01J37/26 |
代理公司: | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人: | 赵文利 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透射 电子显微镜 物镜 | ||
1.一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,包括上极靴、下极靴和隔套;
上极靴上端为圆柱形,下端为倒圆锥形,圆锥形的底端为平面F1,圆柱形上设有圆形螺纹孔A,用于与其他部件连接;圆形螺纹孔A下端设有锥形凹槽B,锥形凹槽B下端设有上极靴孔,上极靴孔的直径为D1,上极靴孔与锥形凹槽B连接的部分设有倒角C;圆形螺纹孔A的直径大于锥形凹槽B上端直径,锥形凹槽B下端直径大于上极靴孔的直径;底端为平面F1的外缘直径为上极靴孔的直径的三倍以上;倒圆锥形外围还设有凸台A,用于与隔套中的环形凹槽A过盈配合,环形凹槽A的端面与凸台A的端面重合;
所述的上极靴孔的长度大于或者等于上极靴孔的直径;
下极靴为圆锥形,顶部为平面F2,顶端设有下极靴孔,下极靴孔的直径为D2,D2<D1,下极靴孔下端设有锥形孔D,锥形孔D下端设有圆孔E,圆孔E下端为圆孔F,锥形孔D上端面的直径与下极靴孔的直径相同,下端面的直径与圆孔E的直径相同,圆孔F的直径大于圆孔E的直径;下极靴圆锥形的底端外围设有凸台B,用于与隔套中的环形凹槽B过盈配合,环形凹槽B的端面与凸台B的端面重合;
所述的下极靴孔与锥形孔D的长度大于或者等于下极靴孔的直径;
平面F1与平面F2之间的距离为S,S与D根据电子光学计算得到;
隔套为圆筒形,上下端分别设有环形凹槽A和环形凹槽B,用于过盈配合上极靴和下极靴,内部还设有下极靴隔板,下极靴隔板位于下极靴锥形的外围,下极靴隔板上端的隔套外圆周设有通孔G;下极靴隔板下端的隔套外圆周设有两个对称的通孔H,用于安装物镜极靴。
2.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的圆形螺纹孔A外围设有两个小锥孔,小锥孔位于同一直径上,起到标记作用。
3.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的凸台A与隔套中的环形凹槽A过盈配合,过盈量0.003-0.005mm。
4.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的凸台B与隔套中的环形凹槽B过盈配合,过盈量0.003-0.005mm。
5.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的通孔G的数量根据物镜上的附件数量决定,附件通过通孔进入隔套。
6.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的上极靴、下极靴均选用高性能软磁材料1J22。
7.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的隔套选用热传导材料锡青铜。
8.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜的物镜极靴,其特征在于,所述的上极靴中倒圆锥形的锥角为60°-70°(半圆锥角)。
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