[发明专利]一种多晶硅料的清洗工艺无效
| 申请号： | 201110348132.X | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN102502652A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 黄贤横 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 清洗 工艺 | ||
【权利要求书】：
1. 一种多晶硅料的清洗工艺，其特征在于，包括：
（1）将多晶硅料用纯水洗净，然后置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗，硝酸和氢氟酸的混合液比例为4.5-9L:1-5L，时间30s—50s；
（2）捞出浸入纯水中；
（3）再置入第二道混合液中清洗，硝酸和氢氟酸的混合液比例为9-15L:1-5L，时间8s—20s；
（4）捞出浸入纯水中；
（5）超声清洗；
（6）离心甩干与烘干炉干燥去水；
（7）分选；
（8）包装入库即可。
2.根椐权利要求1所述的一种多晶硅料的清洗工艺，其特征在于，所述的超声清洗设有三级溢流工序。
3.根椐权利要求1所述的一种多晶硅料的清洗工艺，其特征在于，所述的硝酸浓度为65%—68%，氢氟酸浓度为49%纯度为EL级。
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