[发明专利]硅烷尾气处理装置以及方法

权利要求书

1.一种硅烷尾气处理装置，具备燃烧筒，其特征在于，

所述燃烧筒具备：

进气口，用于通入以硅烷气体为主要成分的硅烷尾气，

第一反应气体通入口，用于通入第一反应气体，

第二反应气体通入口，用于通入第二反应气体，

排气口，用于排出所述硅烷气体与所述第一反应气体和第二反应气体反应之后的气体，

其中，上述第一反应气体通入口和上述第二反应气体通入口分开设置，并且上述第一反应气体通入口设置在比上述第二反应气体通入口更靠近进气口的位置。

2.如权利要求1所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述燃烧筒中还具备气体流速降低装置，

所述气体流速降低装置用于降低燃烧筒中气体的流速以增加气体在燃烧筒内的行程。

3.如权利要求1所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

上述气体流速降低装置是设置成为迷宫型的挡板。

4.如权利要求1所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

上述第一反应气体通入口是用于通入氮气的通入口，上述第一反应气体通入口是用于通入压缩空气的通入口。

5.如权利要求3所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述挡板为直线型的挡板。

6.如权利要求3所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述挡板为曲线型的挡板。

7.如权利要求5所述硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述挡板间的截面积是所述进气口的截面积的3倍以上。

8.如权利要求6所述硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述挡板的弯曲拐角角度在90度以上。

9.如权利要求4所述硅烷尾气处理装置，其特征在于，

在所述燃烧筒的剖视上来看所述排气口的位置高于所述进气口。

10.如权利要求4所述硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述燃烧筒由能耐受300度以上温度的材料构成。

11.如权利要求10所述硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述燃烧筒由不锈钢构成。

12.如权利要求4所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述燃烧筒还具备确保燃烧筒内燃烧气体与外界隔离的密封圈和螺栓。

13.如权利要求1～12任意一项所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于，

所述硅烷尾气处理装置还具备控制装置，

所述控制装置包括：

浮子流量计，用于测定气体流量；

对射式光电传感器，在所述浮子流量计测定到气体流量异常时被触发；以及

PLC控制器，用于在所述对射式光电传感器被触发时产生输出信号以使所述硅烷尾气处理装置停止工作。

14.如权利要求11所述的硅烷尾气处理装置，其特征在于

所述控制装置还具备报警装置，

所述报警装置在所述PLC控制器使硅烷尾气处理装置停止工作的同时发出报警通知。

15.一种硅烷尾气处理方法，是利用权利要求1～12任意一项所述的硅烷尾气处理装置进行处理硅烷尾气的方法，包括下述步骤：

向燃烧筒通入以硅烷为主要成分的尾气的进气步骤；

向燃烧筒内通入压缩空气以稀释所述尾气的稀释步骤；

向燃烧筒内通入氮气以使得与利用所述稀释步骤稀释后的硅烷充分燃烧的燃烧步骤；

利用所述气体流速降低装置使得燃烧步骤燃烧后得到的物质降的沉降步骤；以及

将经过上述各步骤得到的气体排出的排气步骤。

16.如权利要求15上述的硅烷尾气处理方法，其特征在于，

在所述稀释步骤中，通入的氮气是硅烷尾气流量的20倍以上，在所述燃烧步骤中，通入的压缩空气是硅烷尾气流量的20倍以上。