[发明专利]一种太阳能电池硅片传输系统布局结构

权利要求书

1.一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(40)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(1)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)外边，片库装片机械手(6)一次性装载多个电池硅片进入进片片库(7)。

2.权利要求(1)的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的片库装片机械手(6)，装片机械手(8)，卸片机械手(10)，卸片机械手(12)，片库卸片机械手(14)，都能够一次传输多个硅片，其特征在于，多个硅片在机械手上整齐排列，机械手能够水平运动及上下运动。

3.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述的靶台(9)能一次装载多片太阳能电池硅片，其特征在于靶台(9)水平放置时，通过装片机械手(8)一次从片库传输多个硅片放入靶台(9)，用静电吸附的方式将多片硅片同时吸附在靶台(9)表面，然后靶台(9)运动到垂直方向，通过上下扫描的方式使多个硅片同时注入。

4.权利要求1的太阳能电池硅片传输系统布局结构，其中所述片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(4)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库门(20)、进片片库(7)、进片真空锁(21)、装片机械手(8)、靶台(9)配合运动完成装片过程；所述的靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片真空锁(23)、出片片库(13)、出片片库门(22)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)，卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)配合完成卸片过程；其特征在于，在不影响靶台(9)注入的情况下，装片过程和卸片过程可同时进行，使靶台(9)的利用效率达到最大。