[发明专利]一种定位机械手上晶片圆心的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，尤其涉及离子注入机的一种定位机械手上晶片圆心的方法。

背景技术

离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中晶片传输系统的稳定性直接关乎设备的生产效率以及企业的效益，因此一套行之有效的晶片传输控制系统就至关重要，而在晶片传输控制系统中机械手是唯一的传输载体，因此如果能够提高机械手传送晶片的稳定性和精准度，那么整个系统的稳定性就大幅度地提高。要提高机械手传送晶片的稳定性和精准度，就要定位晶片在机械手上圆心位置，进而计算出机械手上晶片的偏移量，通过调节机械手的方向和位置来抵消掉这些误差，达到传送的精准度和稳定性。

鉴于机械手传送晶片的重要性，如何开发出一种定位机械手上晶片圆心的方法是离子注入机稳定性急需解决的问题。

发明内容

本发明是针对现有技术中无法确定机械手上晶片的偏移误差，影响设备稳定性，可能给客户造成重大损失，而开发出的一种定位机械手上晶片圆心的方法。如图1示意图。

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种定位机械手上晶片圆心的方法，包括：机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8)，其中传感器4(7)是备用的。

2.一种定位机械手上晶片圆心的方法，其中所述的机械手(1)用来传送晶片(8)，控制器(2)通过编码器(3)采集到的编码，来控制和调节机械手取送晶片(8)的方向和距离，机械手(1)取到晶片(8)后，那么传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)就会检测机械手上晶片的3个位置编码，然后把这3个位置编码传递给控制器(2)，控制器(2)通过一系列运算，最终定位出晶片(8)的圆心。

3.一种定位机械手上晶片圆心的方法，如图2中所示：设置了一个晶片圆心O的理论位置，即晶片在机械手上的理论位置计算出的圆心位置，以这个圆心O位置为圆心画一个半径为1厘米的圆，作为圆心的安全范围，实际传输过程中如果计算到的圆心位置在这个圆内，那么是安全的，如果不再这个圆内，那么就会报警提示，不会向下执行其他动作。设置这个安全范围是为了保护机械手和晶片，避免碰撞、损坏机械手和晶片。

本发明具有如下显著优点：

1.考虑的比较全面，设置了一个备用传感器，避免出现一个传感器有问题，机械手不能正常传输检测晶片圆心，影响设备效率的问题；设置了一个晶片圆心的安全范围，能够有效保护机械手和晶片等。

2.能够模拟一个立体模型，快速准确地计算出晶片的圆心位置，以及传输目标点的方向和距离。

3.大幅度提高了机械手传送晶片的精准度和稳定性，同时不会影响整个传输系统的传输效率。

附图说明

图1为定位机械手上晶片圆心的体系结构图。

图2为定位机械手上晶片圆心的具体实施图。

具体实施方式

下面结合附图1和附图2对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

图2是定位机械手上晶片圆心的具体实施图，包括：机械手(1)、控制器(2)、编码器(3)、传感器1(4)、传感器2(5)、传感器3(6)、传感器4(7)、晶片(8)，其中传感器4(7)是备用的。

如图中所示，晶片(8)在机械手上(1)有一些偏移，传感器1(4)、传感器2(5)和传感器3(6)会检测晶片圆弧上3个点的位置编码点分别为A、B和C点，O点为机械手上晶片的理论圆心。

运用数学方法，连接AB和BC，然后分别作AB和BC的垂直平分线，其交点即为晶片的圆心，图2中的D点即为晶片的实际圆心，在通过一元二次方程就能够求出圆心D的位置坐标，求出坐标以后，判断下该圆心D是否在以O为圆心，半径为1厘米的圆内，如果在，说明晶片在机械手的安全传送范围，如果不在，说明晶片在机械手上偏移太大，不在机械手的安全传送范围之内，会报警提出，并不会执行下面的动作。图中的所得的圆心D点在其圆内，因此机械手传送晶片时是安全的。

求出D点的位置坐标后，把它转换为编码位置，根据目标点的位置进行调整下一步机械手运动的方向和距离，提高了传送片的精准度，降低了碎片率。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。