[发明专利]用于航天器部组件常温真空检漏的检漏系统

说明书

技术领域

本发明属于航天器部组件密封性能的无损检测领域，具体涉及一种常温下使用的真空检漏系统，该系统主要用于航天器部组件的检漏。

背景技术

对于具有密封要求的航天器部组件，密封性能测试是必须进行的测试项目。目前，我国航天器部组件的密封性能测试大都采用真空检漏的检漏方法。真空检漏的标准漏孔通常采用薄膜渗氦型标准漏孔，但是，受到标准漏孔氦气累积、前级泵类型以及环境氦气反流等因素的影响，检漏灵敏度的提高和测试漏率的误差减小，都受到了一定程度的限制。

发明内容

本发明的目的是减小薄膜渗氦型标准漏孔氦气累积问题造成的测试漏率误差，通过减小前级抽气泵对氦气的分流比、降低环境氦气的反流来提高检漏灵敏度。

一种用于航天部组件常温真空检漏的检漏系统，包括圆柱形真空容器、高真空阀门、高真空检漏阀门、高真空泵、前级抽气阀门、前级抽气泵、前级检漏阀门、氦质谱检漏仪、标准漏孔、标准漏孔检漏阀门、标准漏孔抽气泵、标准漏孔抽气阀门和控制单元，真空容器的筒壁上分别连接有高真空阀门和标准漏孔检漏阀门，高真空阀门的另一端连接有高真空泵，前级抽气泵通过前级抽气阀门与高真空泵连接，在高真空阀门和高真空泵之间、高真空泵与前级抽气阀门之间的抽气管道上分别通过高真空检漏阀门、前级检漏阀门与氦质谱检漏仪连接；标准漏孔检漏阀门的另一端与标准漏孔之间设置四通真空接口，四通真空接口的四接口分别连接标准漏孔检漏阀门、标准漏孔抽气阀门、标准漏孔和标准漏孔放气阀门，标准漏孔抽气泵通过标准漏孔抽气阀门与四通真空接口连接，标准漏孔放气阀门的另一端连接环境大气，其中，高真空阀门、高真空检漏阀门、高真空主泵、前级检漏阀门、前级抽气阀门、前级抽气泵、标准漏孔检漏阀门、标准漏孔抽气泵、标准漏孔检漏阀门通过供电电缆与控制单元连接，氦质谱检漏仪通过供电电缆和测试电缆与控制单元连接。

优选地，前级抽气泵的类型为螺杆干泵。

优选地，前级抽气阀门、高真空检漏阀门、前级抽气阀门、前级检漏阀门、标准漏孔检漏阀门、标准漏孔抽气阀门的类型为常闭电磁真空阀门。

优选地，标准漏孔放气阀门的类型为常开电磁真空阀门。

进一步地，氦质谱检漏仪可以通过高真空检漏阀门或者前级检漏阀门两种方式接入检漏系统。

进一步地，控制单元可以手动和自动控制高真空检漏阀门、前级检漏阀门、标准漏孔检漏阀门和标准漏孔抽气阀门的开启和关闭。

进一步地，标准漏孔为薄膜渗氦型标准漏孔。

本发明具有以下有益效果：①前级抽气泵采用螺杆干泵，可以在保持前级真空度的前提下，减小前级泵对氦气的分流比，进而提高检漏灵敏度。②前级抽气阀门、高真空检漏阀门、前级检漏阀门、标准漏孔检漏阀门和标准漏孔抽气阀门的类型为电磁真空阀门，有利于检漏系统自动校准功能的实现。③在高真空阀门和高真空泵之间设置高真空检漏阀门，在环境氦气浓度较高时，可以保证检漏系统的灵敏度不降低。④在标准漏孔和标准漏孔检漏阀门之间设置标准抽气阀门、标准漏孔放气阀门和标准漏孔抽气泵，可以消除薄膜渗氦型标准漏孔的氦气累积问题。⑤旋片泵在消除薄膜渗氦型标准漏孔氦气累积问题上，具有真空度性能和经济型的双重优势。⑥控制单会可以实现检漏系统的自动校准功能。

附图说明

图1是本发明航天器部组件常温真空检漏的检漏系统的仪器设备连接示意图。

图2是本发明航天器部组件常温真空检漏的检漏系统的控制连接示意图。

图中：1-真空容器；2-标准漏孔检漏阀门；3-标准漏孔放气阀门；4-四通真空接口；5-标准漏孔；6-标准漏孔抽气阀门；7-标准漏孔抽气泵；8-高真空阀门、9-高真空泵；10-前级抽气阀门；11-前级抽气泵；12-前级检漏阀门；13-氦质谱检漏仪；14-高真空检漏阀门；15-供电电缆；16-测试电缆；17-控制单元。

具体实施方式

以下参照附图对本发明进行详细说明，但附图仅未示例的目的，并不旨在对本发明的保护范围进行任何限制，其范围由所附的权利要求书进行限定。