[发明专利]等静压碳化硅石墨坩埚成型装置无效
| 申请号： | 201110344504.1 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN103085158A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 周琰 | 申请（专利权）人： | 中科恒达石墨股份有限公司 |
| 主分类号： | B28B3/00 | 分类号： | B28B3/00 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443100 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静压 碳化硅 石墨 坩埚 成型 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，其特征在于：缸体（13）内设有上活塞（11）和下活塞（12），上活塞（11）和下活塞（12）之间设有钢丝层（3），钢丝层（3）内设有超高压腔（7），橡胶模具（4）和金属模具（6）通过支撑架安装在超高压腔（7）内，超高压腔（7）与预加压泵（9）和增压油缸（10）连通。
2.根据权利要求1所述的一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，其特征在于：钢丝层（3）的两端设有上法兰（1）和下法兰（8）。
3.根据权利要求1所述的一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，其特征在于：所述的橡胶模具（4）上设有注料口（2）。
4.根据权利要求1所述的一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置，其特征在于：所述的金属模具（6）位于橡胶模具（4）的内部。
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