[发明专利]一种检测大口径光学系统波前的装置

权利要求书

1.一种大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：包括干涉仪、五维调整台、标准自准直平面镜、数控电动位移台、数控转台、计算机控制和数据处理系统和二维调整台，其中：

干涉仪位于五维调整台上，大口径光学系统放置于干涉仪和标准自准直平面镜中间，干涉仪发出的光经大口径光学系统到达标准自准直平面镜，沿原光路返回干涉仪形成干涉，从而对大口径光学系统此处波前子孔径进行扫描采样；

标准自准直平面镜安装在二维调整台上，二维调整台垂直安装在数控电动位移台上，在数控转台的径向安装数控电动位移台；数控转台和数控电动位移台控制标准自准直平面镜运动，二维调整架用于对标准自准直平面镜进行调整，使标准自准直平面镜与干涉仪和被检的大口径光光学系统组成的准直光路。

计算机控制和数据处理系统的通讯接口分别与干涉仪的通讯接口、数控电动位移台的通讯接口和电动导轨的通讯接口连接，计算机控制和数据处理系统按照子孔径规划布局控制数控电动位移台和电动导轨，并使数控电动位移台和电动导轨按子孔径规划的路径运动；数控电动位移台带动标准自准直平面镜在径向移动，在径向对大口径光学系统的子孔径扫描采样；计算机控制和数据处理系统，用于控制干涉仪对子孔径数据采样，并根据子孔径拼接算法对子孔径数据进行拼接，得到大口径光学系统的波前子孔径。

2.根据权利要求1所述的大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：所述干涉仪为防振干涉仪，在低频振动时仍可对子孔径波前进行检测采样，低频振动为≤200Hz。

3.根据权利要求1所述的大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：所述标准自准直平面镜的口径小于或等于大口径光学系统口径，标准自准直平面镜的面形精度为PV≤λ/20，RMS≤λ/100，其中PV为自准直平面镜面形波峰与波谷高度差，RMS为自准直平面镜面形均方根误差，λ为632.nm波长单位。

4.根据权利要求1所述的大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：所述的数控电动位移台沿自身轴作直线运动，数控电动位移台精度要求为：直线性小于30″，定位精度小于0.4mm。

5.根据权利要求1所述的大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：所述的数控转台绕自身轴旋转环形方向运动，带动标准自准直平面镜在环形方向子孔径采样。

6.根据权利要求1所述的大口径光学系统波前的检测装置，其特征在于：所述数控转台角晃动要求为30″，角定位精度小于3′。