[发明专利]利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法

权利要求书

1.利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤一、飞秒激光光束经过光路上装有的衰减片、偏振片及透镜将焦点聚集在石英玻璃下表面，石英玻璃固定在三维精密工作台上，控制三维精密工作台运动使飞秒激光束焦点在石英玻璃内部由下而上扫描出所需微螺旋轨迹轮廓；

步骤二、将扫描出的石英玻璃基底浸泡在质量浓度为5％-15％的氢氟酸溶液中，置于温度为50℃-80℃的超声波环境中，超声波的强度为50千赫兹，氢氟酸腐蚀掉经过飞秒激光作用的区域，间歇性的取出石英玻璃吹干观察和更换氢氟酸溶液，直到形成上下贯通的微螺旋通道。

2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，步骤一中在扫描微螺旋轨迹轮廓时，为了辅助刻蚀时的氢氟酸溶液可以顺畅进入石英玻璃内部，在石英玻璃侧面通过飞秒激光束开辅助通道。

3.根据权利要求1所述的利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，所述的飞秒激光是由镜色散控制钛宝石振荡器提供的宽带飞秒种子脉冲，然后使用脉冲放大装置放大，中心波长为800nm。

4.根据权利要求1所述的利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，所述的三维精密工作台是日本尼康公司生产的精密三维机械步进式移动PCI平台。

5.根据权利要求1所述的利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法，其特征在于，所述的透镜是显微镜的物镜。