[发明专利]光学角度测量装置

权利要求书

1.用于检测至少一个扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)和带有至少一个测量分度的分度盘(10；110；210；310；410；510)之间的相对运动的光学角度测量装置，其中

-该扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)构成为线性扫描光栅，并且

-该分度盘(10；110；210；310；410；510)作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)并且具有镜(12；112；212；312)，使得

-在扫描光栅(23.1、23.2；123；223； 323)处的入射光束首先经历分裂成两个分光束；

-分光束在第一组合的径向圆光栅(11.1；111.1；211.1；311.1)方向上传播并且在那里受到衍射；

-衍射的分光束在镜(12；112；212；312)方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅(11.2；111.2；211.2；311.2)方向上受到反射；

-分光束在第二组合的径向圆光栅(11.2；111.2；211.2；311.2)方向上传播并且在那里受到衍射；

-衍射的分光束在扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)方向上传播，在此处引起分光束的重叠。

2.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述组合的第一和第二径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)将至少一个方位角光学偏转作用与径向的、环形弯曲的圆柱形透镜的光学作用相调和。

3.根据权利要求1或2所述的光学角度测量装置，其中所述第一组合的径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)这样构成，使得除了对分光束的纵向和横向的偏转作用外此外引起分光束到镜(12；112；212；312)上的聚焦。

4.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述第二组合的径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)这样构成，使得除了对分光束的纵向和横向的偏转作用外此外引起在扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)方向上传播的分光束的重新准直。

5.根据前述权利要求中至少一项所述的光学角度测量装置，其中所述组合的第一和第二径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)环形地在分度盘(10；110；210；310；410；510)的圆周上布置并且在环圆周上分别具有恒定的方位角光栅周期并且在径向方向上具有变化的径向光栅周期。

6.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述镜(12；112；212；312)环形地在分度盘(10；110；210；310；410；510)的圆周上布置。

7.根据权利要求5和6所述的光学角度测量装置，其中所述分度盘(10；110；210；310；410；510)由透明的材料组成并且布置在组合的第一和第二径向圆光栅(11.1、11.2；111.1、111.2；211.1、211.2；311.1、311.2)的第一侧上并且布置在镜(12；112；212；312)的相反的第二侧上，所述镜的反射面在第一侧的方向上取向。

8.根据前述权利要求中至少一项所述的光学角度测量装置，其中所述扫描光栅(123；223；323)构成为反射扫描光栅。

9.根据权利要求1至7中至少一项所述的光学角度测量装置，其中光源(21；321)以及多个光电子探测器元件(22.1 - 22.3；322.1 - 322.3)布置在扫描单元(20；120；320；420.1 - 420.4；520.1 - 520.4)中并且从光源(21；321)发射的光束可输送给扫描光栅(23.1、23.2；123；223；323)并且重叠的分光束可输送给光电子探测器元件(22.1 - 22.3；322.1 - 322.3)。