[发明专利]可位移调整磁控管的装置

权利要求书

1.一种可位移调整磁控管的装置，包含一个基座单元、至少一个靶材单元、一个直线驱动单元、一个转接单元、至少一个调整单元及至少一个磁铁单元；其特征在于：

该基座单元，具有一个本体、一个固设在该本体一侧的阳极板组及一个与该阳极板组相反且固设在该本体另一侧的定位架，定义该本体具有一条中线；

该靶材单元，具有一个固设在该基座单元一侧且对应于该阳极板组的框座及一个安装在该框座的靶材组；

该直线驱动单元，具有一个沿该中线安装在该定位架的驱动件及一支受该驱动件驱动能沿一个第一方向往复直线位移的连动件，该中线的延伸方向垂直于该第一方向，该驱动件具有一个齿轮，该连动件具有一个与该齿轮啮合且沿该第一方向延伸的齿排；

该转接单元，具有一个连结在该连动件两端的悬架、至少一个连结于该悬架的固定板；

该调整单元，具有两支螺锁于该固定板且沿一个垂直于该第一方向的第二方向延伸的调整螺杆，及一个连结在所述调整螺杆之间的传动组，所述调整螺杆能通过该传动组同步位移；

该磁铁单元，具有一个连结于所述调整螺杆的定位板及一个定位在该定位板的磁铁组。

2.根据权利要求1所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该调整单元还具有数个安装于该固定板的防转组，所述防转组各具有一个套设在所述调整螺杆的夹件及一个螺锁于该夹件且能使该夹件对所述调整螺杆夹制或松释的把手。

3.根据权利要求2所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该调整单元的传动组具有两个分别固设在所述调整螺杆的皮带轮及一条绕设在所述皮带轮之间的皮带。

4.根据权利要求3所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该调整单元还具有一个安装在其中一支调整螺杆的操作件，转动该操作件能驱动所述调整螺杆同步位移，且该操作件为一电子手轮或一手动式手轮。

5.根据权利要求1所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该基座单元的本体具有一个座板及一个固设在该座板的导磁座，该座板呈中空框状，并具有一个第一开孔，该导磁座呈中空框状，并具有一个对应该第一开孔的第二开孔及一个与该第一开孔相反而封设在该第二开孔一侧的底封板，该磁铁单元能沿该第一方向移动地套设在该第一开孔与该第二开孔中，该磁铁组与该靶材组相反设置在该底封板的两侧，该阳极板组围设在该导磁座外侧。

6.根据权利要求1所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该转接单元的悬架具有两支呈L型的架杆，该转接单元还具有一个固设在所述架杆底部与该固定板之间的转接座，该固定板呈长板状且对应该中线而沿一个垂直于该第一方向、该第二方向的第三方向延伸，并具有两个对应该第三方向间隔设置且与所述调整螺杆螺锁的上锁座，该磁铁单元的定位板呈长板状且也沿第三方向延伸，并具有两个对应该第三方向间隔设置且与所述调整螺杆螺锁的下锁座。

7.根据权利要求6所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该转接单元还具有数个设置在该固定板与该本体之间的滑轨组，所述滑轨组沿该第一方向延伸。

8.根据权利要求1所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该转接单元的悬架具有两支呈L型的架杆，该靶材单元的数量有两个，该转接单元的固定板的数量也有两个，该转接单元还具有两个固设在所述架杆底部与所述固定板之间的转接座，所述固定板分别对应一个靶材单元、一个调整单元与一个磁铁单元。

9.根据权利要求8所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该转接单元的所述固定板呈长板状且分别位于该中线的相反两侧互相对应，并分别沿一个垂直于该第一方向、该第二方向的第三方向延伸，每一个固定板具有两个对应该第三方向间隔设置且与所述调整螺杆螺锁的上锁座，所述磁铁单元的所述定位板也沿第三方向延伸，并各具有两个对应该第三方向间隔设置且与所述调整螺杆螺锁的下锁座。

10.根据权利要求9所述的可位移调整磁控管的装置，其特征在于：该转接单元还具有数个设置在所述固定板与该本体之间的滑轨组，所述滑轨组沿该第一方向延伸。