[发明专利]功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种功能元件，其特征在于，该功能元件具有：

绝缘基板；

可动部；

可动电极指，其设置在上述可动部上；以及

固定电极指，其设置在上述绝缘基板上，并且与上述可动电极指相对地配置，

上述固定电极指包含配置在上述可动电极指的一侧的第1固定电极指和配置在另一侧的第2固定电极指，

上述第1固定电极指与上述第2固定电极指相互离开地配置。

2.根据权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

在上述绝缘基板上设置有固定部，

上述可动部经由连接部与上述固定部连接。

3.根据权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

在上述绝缘基板上设置有与上述第1固定电极指电连接的第1布线以及与上述第2固定电极指电连接的第2布线中的至少一个布线。

4.根据权利要求3所述的功能元件，其特征在于，

在上述绝缘基板上设置有凹部，

上述布线设置在上述凹部内。

5.根据权利要求4所述的功能元件，其特征在于，

上述第1固定电极指和上述第2固定电极指中的至少一方经由具有导电性的突起与上述布线连接。

6.根据权利要求3所述的功能元件，其特征在于，

上述布线具有设置有绝缘膜的部分。

7.根据权利要求3所述的功能元件，其特征在于，

在上述第1固定电极指和上述第2固定电极指中的至少一方上设置有在厚度方向贯通的导体部，

上述导体部与上述布线连接。

8.根据权利要求3所述的功能元件，其特征在于，

上述布线由透光性的电极材料构成。

9.根据权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

上述绝缘基板由含有碱金属离子的材料构成，

上述固定电极指由半导体构成，

上述固定电极指通过阳极接合法与上述绝缘基板接合。

10.根据权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

上述固定电极指由单一的部件构成。

11.根据权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

分别设置有多个上述第1固定电极指和上述第2固定电极指，

一体地设置上述第1固定电极指彼此和上述第2固定电极指彼此中的至少一方。

12.一种功能元件的制造方法，其特征在于，该功能元件的制造方法具有以下步骤：

在第1基板上形成空洞部；

在上述第1基板上载置第2基板；以及

通过蚀刻上述第2基板，形成固定部、可动部、连接部以及固定电极指，其中，上述固定部设置在上述第1基板上，上述可动部具有可动电极指，并且配置在上述空洞部上，上述连接部连接上述可动部和上述固定部，上述固定电极指设置在上述第1基板上，并且与上述可动电极指相对地配置。

13.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有权利要求1所述的功能元件。

14.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1所述的功能元件。