[发明专利]刻蚀终点动态检测方法

权利要求书

1.一种刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，包括：

获取从刻蚀开始至刻蚀完成的实时光信号的强度，其中，从刻蚀开始至刻蚀完成包括延迟时间段、稳定刻蚀时间段和刻蚀终点判断时间段，所述特定波长光信号的强度与刻蚀腔体内的特定刻蚀气体活性组分浓度或产物浓度对应；

提供预设的延迟时间段参考阈值；

搜索延迟时间段内的实时光信号强度的拐点，若在所述延迟时间段内搜索到拐点，则进入稳定刻蚀时间段，若在所述预设的延迟时间段内无拐点，则在到达参考阈值后进入稳定刻蚀时间段。

2.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述拐点的判断方法为：搜索特定波长实时光信号的强度与时间的斜率，实时光信号的强度曲线斜率为0对应的点为拐点。

3.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述拐点的判断方法为：获取稳定刻蚀时间段内的光信号噪声信号强度，使得延迟时间段内相邻两个信号的变化幅度ΔI＝I_n-I_n-1小于稳定刻蚀时间段内信号噪声强度的10倍时进入稳定刻蚀时间段，其中I_n为第n个实时光信号的强度，I_n-1为第n-1个实时光信号的强度，n为大于1的自然数。

4.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述拐点获得方法为：

提供相邻的采样时间间隔，光信号的强度与前一个时间点的光信号强度的差值ΔIn＝I_n-I_n-1，当ΔIn大于ΔIn-1数值的80％时则进入稳定刻蚀时间段，其中I_n为第n个实时光信号的强度，其中I_n-1为第n-1个实时光信号的强度，n为大于1的自然数。

5.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述延迟时间段参考阈值为经验值。

6.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述延迟时间段参考阈值为小于10秒。

7.如权利要求6所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述延迟时间段参考阈值为5秒或6秒。

8.如权利要求1所述刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，所述刻蚀为等离子体刻蚀。