[发明专利]搬送系统以及搬送方法

说明书

技术领域

本发明涉及搬送系统，特别是涉及不使处理装置等待而供给搬送物品的搬送系统。

背景技术

近年需要不使半导体加工装置以及半导体的检查装置等处理装置等待，而将FOUP(用于搬送半导体晶片的密闭型盒体)等物品向这些装置的装载口(load port)供给以及搬送。因此提出有下述方案：在处理装置的附近设置缓冲部(buffer)，并且为了进行缓冲部与处理装置之间的搬送，而设置追加的搬送装置。例如在专利文献1(JP2006-224944A)中，将高架输送车(overhead travelling vehicle)的轨道与顶板空间平行地配置多个，将一方设为长距离搬送用，将另一方设为短距离搬送用。并且在长距离搬送用的轨道的正下方配置缓冲部，在短距离搬送用的轨道的正下方配置处理装置的装载口。长距离搬送用的高架输送车在与缓冲部之间交接物品，短距离搬送用的高架输送车在缓冲部与装载口之间交接物品。因此当处理装置所需要的物品被预先搬送到缓冲部时，就能够以高速向处理装置进行物品的供给。

另外，来自处理装置的装载口的物品的搬出，利用短距离搬送用的高架输送车以高速进行。然而，这样一来，由于在相同高度位置平行地设置轨道，故在俯视观察下会增大搬送系统所占的占地面积。

在专利文献2(JP2005-150129A)中，在处理装置的前表面设置具备搬送装置的缓冲部，高架输送车在与缓冲部之间交接物品，缓冲部内的搬送装置在与装载口之间交接物品。然而在处理装置的前表面设置表示运转状况的显示器、手动操作用的操作面板等，会因缓冲部而将它们堵塞，因此不是优选的。另外装载口不只使用自动搬送装置，有时也用人工来供给搬出物品，当用缓冲部覆盖处理装置的前表面时，则用人工进行搬入搬出变得困难。

专利文献1：JP2006-224944A

专利文献2：JP2005-150129A

发明内容

本发明的课题在于，不堵塞处理装置的前表面、且在俯视观察下搬送系统所占的占地面积减小，并且迅速地向处理装置供给以及搬出物品。

本发明的课题还在于，尽量减少在与缓冲部之间交接物品时的升降量。

本发明的课题还在于，缩短缓冲部与装载口之间的搬送距离。

本发明的追加的课题在于，提供不与区间(local)台车干涉、且高架输送车在与缓冲部之间交接物品的具体的结构。

本发明涉及一种搬送系统，用于在多个处理装置之间搬送物品，该搬送系统包括：高架输送车轨道，其在处理装置的装载口的上部通过；以及高架输送车，其沿着高架输送车轨道向一个方向行驶且具备提升机，

本发明的系统的特征在于，包括：

区间轨道，其在高架输送车轨道的下方且沿着所述一个方向从处理装置的装载口的上游侧到下游侧配置在装载口的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；

区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；

第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述一个方向配置在处理装置的装载口的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及

第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述一个方向配置在处理装置的装载口的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。

在该发明中，能够将供高架输送车行驶的空间与供区间台车行驶的空间在竖直方向重合，从而能够减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积。另外，不会因缓冲部而堵塞处理装置的前表面。由于第一缓冲部与第二缓冲部设置于装载口的上游侧和下游侧，故区间台车能够在装载口与缓冲部之间迅速地供给搬出物品。装载口在处理装置上可以仅设置一个，也可以设置多个。在设置多个装载口的情况下，区间轨道从各装载口的上游侧设置到下游侧，第一缓冲部设置在各装载口的上游侧，第二缓冲部设置在各装载口的下游侧。

本发明还涉及后安装于已设的高架输送车系统的搬送系统。

该系统的特征在于，包括：

区间轨道，其在高架输送车轨道的下方且沿着所述一个方向从处理装置的装载口的上游侧到下游侧配置在装载口的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；

区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；

第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述一个方向配置在处理装置的装载口的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及