[发明专利]一种超材料的封装方法

权利要求书

1.一种超材料的封装方法，其特征在于，所述方法包括：

在陶瓷衬底的上表面形成一层金属膜；

在所述金属膜上刻出预设的微结构图案，获得超材料板；

在所述超材料板上浸镀玻璃粉涂层；

通过所述玻璃粉涂层将至少两个超材料板粘结在一起，真空热压后获得超材料板的封装体。

2.根据权利要求1所述的封装方法，其特征在于，在所述超材料板上浸镀玻璃粉涂层之前，还包括：

在所述陶瓷衬底的下表面形成一层金属膜，在该金属膜上刻出预设的微结构图案。

3.根据权利要求1所述的封装方法，其特征在于，所述微结构图案为轴对称图形或者非轴对称图形。

4.根据权利要求1所述的封装方法，其特征在于，所述方法之前，还包括：

采用粉末压制成型、挤压成型、流延成型、或者射出成型的方式制备所述陶瓷衬底。

5.根据权利要求4所述的封装方法，其特征在于，所述粉末压制成型包括：模压成型或者等静压成型。

6.根据权利要求4所述的封装方法，其特征在于，采用流延成型的方式制备所述陶瓷衬底，具体包括：

采用流延法制备陶瓷坯料片材；

根据所需介质基板的厚度对陶瓷坯料片材进行叠层；

在预设的温度下对叠层的陶瓷坯料片材进行真空热压，获得陶瓷衬底。

7.根据权利要求6所述的封装方法，其特征在于，所述陶瓷坯料片材为氧化铝陶瓷坯料片材。

8.根据权利要求7所述的封装方法，其特征在于，所述采用流延法制备陶瓷坯料片材，具体包括：

将氧化铝陶瓷粉末与分散剂、粘合剂、溶剂、以及表面活性剂混合制成氧化铝陶瓷浆料，经流延制成氧化铝陶瓷坯料片材。

9.根据权利要求8所述的封装方法，其特征在于，所述氧化铝陶瓷浆料还包括助烧剂。

10.根据权利要求6所述的封装方法，其特征在于，所述陶瓷坯料片材为氮化铝陶瓷坯料片材。

11.根据权利要求10所述的封装方法，其特征在于，所述采用流延法制备陶瓷坯料片材，具体包括：

将氮化铝陶瓷粉末与分散剂、粘合剂、溶剂、以及表面活性剂混合制成氮化铝陶瓷浆料，经流延制成氮化铝陶瓷坯料片材。

12.根据权利要求11所述的封装方法，其特征在于，所述氮化铝陶瓷浆料还包括助烧剂。